公开(公告)号：KR100766907B1

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：KR1020060030787

申请日：2006-04-05

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김종욱 ,  최해영 ,  장원석 ,  서운학

IPC: H01J35/02

CPC classification number: H01J35/065 ,  H01J35/14 ,  H01J2235/062

Abstract: 본 발명에 따른 마이크로 집속 수준의 전자빔 발생용 탄소나노튜브 기판 분리형 방사선관 시스템은, 음극으로부터 방출된 전자가 양극에 충돌하여 방사선을 방출하도록 하는 진공의 공간을 제공하는 하우징; 외부로부터 인가된 전압에 의해 전계를 형성하여 음극으로부터 방출된 전자를 가속하여 자신에게 도달하도록 하는 양극; 양극에 대응하는 음극으로서 그 표면에는 전압인가에 의해 전자를 방출하는 탄소나노튜브가 성장되어 있는 탄소나노튜브 기판; 탄소나노튜브 기판을 지지 및 고정하며, 탄소나노튜브 기판에 전압을 인가하기 위한 음극판; 상기 탄소나노튜브 기판만을 교체할 수 있도록 탄소나노튜브 기판과 결합되어 하나의 일체화된 세트를 이루며, 상기 하우징에 착탈 가능하게 설치되는 샘플 프루브; 탄소나노튜브 기판의 전방에 설치되며, 탄소나노튜브 기판으로부터 전자를 원활하게 추출하기 위한 그리드 전극; 그리드 전극을 통과한 전자를 집속하여 상기 양극에 마이크로 수준의 초점이 형성될 수 있도록 하는 전자 집속 렌즈; 상기 음극, 그리드 전극 및 전자집속 렌즈에 전압을 인가하기 위한 피드 스루; 상기 탄소나노튜브 기판의 교체 시, 상기 하우징 내부의 진공 상태를 유지하기 위한 진공 펌프; 및 샘플 프루브를 상기 하우징에 삽입 및 하우징으로부터 분리시 하우징의 내부와 외부를 차단시켜주기 위한 진공 밸브를 포함하여 구성된다.

公开(公告)号：KR1020070099714A

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：KR1020060030787

申请日：2006-04-05

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김종욱 ,  최해영 ,  장원석 ,  서운학

IPC: H01J35/02

CPC classification number: H01J35/065 ,  H01J35/14 ,  H01J2235/062

Abstract: A carbon nanotube substrate separation type X-ray tube system for generating an electron beam of a micro focusing level is provided to focus electron beams of micro units on an anode by improving a structure of a focusing electrode. A housing(101) provides a vacuum space for emitting radial rays by causing collision between an anode(102) and electrons emitted from a cathode. The anode is installed in the inside of the housing in order to accelerate electrons emitted from the cathode by forming magnetic field with a voltage applied from the outside. A carbon nanotube substrate(103) is installed in the inside of the housing. A carbon nanotube is grown on a surface of the carbon nanotube substrate in order to emit electrons. A cathode plate(104) is formed to support and fix the carbon nanotube substrate and to apply a voltage to the carbon nanotube substrate. A sample probe(105) is coupled with the carbon nanotube substrate and is installed at the housing. A grid electrode(106) is installed in front of the carbon nanotube substrate in order to extract the electrons from the carbon nanotube substrate. An electron focusing lens(107) is installed in front of the grid electrode in order to form a focus of a micro level by focusing the electrons through the grid electrode. A plurality of feedthroughs(108) are installed around the sample groove in order to apply the voltage to the cathode, the grid electrode, and the electron focusing lens. A vacuum pump(109) is installed at one side of the housing in order to maintain a vacuum state in an exchanging state of the carbon nanotube. A vacuum valve(110) is formed to shield the inside and the outside of the housing in a separating process of the sample groove from the housing.

Abstract translation: 提供了一种用于产生微聚焦电平的电子束的碳纳米管衬底分离型X射线管系统，通过改善聚焦电极的结构，将微单元的电子束聚焦在阳极上。 壳体（101）通过引起阳极（102）和从阴极发射的电子之间的碰撞来提供用于发射径向射线的真空空间。 阳极安装在壳体的内部，以便通过从外部施加的电压形成磁场来加速从阴极发射的电子。 碳纳米管基板（103）安装在壳体的内部。 为了发射电子，在碳纳米管基板的表面上生长碳纳米管。 形成阴极板（104）以支撑并固定碳纳米管衬底并向碳纳米管衬底施加电压。 样品探针（105）与碳纳米管基底结合并安装在壳体上。 为了从碳纳米管基板提取电子，在碳纳米管基板的前方安装有栅电极（106）。 电子聚焦透镜（107）安装在栅格电极的前面，以便通过将电子聚焦通过栅格电极形成微平面的焦点。 为了向阴极，栅电极和电子聚焦透镜施加电压，在样品槽周围安装有多个馈通（108）。 真空泵（109）安装在外壳的一侧，以保持碳纳米管交换状态下的真空状态。 形成真空阀（110），以在样品槽与壳体的分离过程中屏蔽壳体的内部和外部。