公开(公告)号：KR101172744B1

公开(公告)日：2012-08-14

申请号：KR1020090123744

申请日：2009-12-14

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 류홍제 ,  임근희 ,  세르게이니키브로프

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/12 ,  C23C16/26

Abstract: 본 발명은 플라스틱 용기(plastic container)의 DLC 코팅을 위한 장치 및 방법에 관한 것으로서, ICP-PI3D에 의해 플라스틱 용기의 내벽에 장벽(barrier) DLC(Diamond-Like-Carbon), 즉 수소화된 비정질 탄소(α-C:H)의 코팅층을 형성하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 플라스틱 용기의 내벽에 DLC(α-C:H) 코팅층을 형성하기 위한 본 발명에 따른 유도 결합된 플라즈마 침지 이온 주입 및 증착(ICP-PI3D) 장치는, 플라스틱 용기가 배치되는 분리 가능한 진공 유전체 밀폐부(밀폐부의 내벽은 용기의 외곽선에 상응하는 형상을 가짐)와, 상기 밀폐부의 주위로 배치되는 나선형 RF 안테나와, 상기 용기의 주위로 상기 진공 유전체 밀폐부의 내부에 배치되고 상기 용기의 외곽선에 상응하는 외곽선을 가지는 슬롯이 형성된 바이어스 전극(slotted bias electrode)과, 상기 용기 내로 삽입되고 지면에 전기적으로 연결되는 가스 공급 전극을 가진다. RF 전력이 상기 안테나에 인가되는 경우에 플라스틱 용기 내부에는 탄화수소 플라즈마(Hydro-carbon plasma)가 생성되고, 상기 슬롯형 전극(슬롯이 형성된 바이어스 전극)에 음의 고전압 펄스 바이어스를 인가함으로써 경질의 DLC 코팅층이 용기의 내벽에 형성된다. 내벽에 DLC 코팅층을 갖는 플라스틱 용기는 상기 장치를 이용함으로써 제조된다. 상기 DLC 코팅층은 우수한 산소 차단 특성을 가지며, 용기에 의해 저분자 유기화합물이 흡수되는 것을 억제한다. 또한 상기 장치를 이용하여 플라스틱 용기의 내벽에 DLC 코팅층을 생성하기 위한 방법이 개시된다. 결국, 본 발명에서 개시되는 폐루프(closed loop) 생산공정에서 작동하는 다수의 상기한 장치들을 이용하는 경우에는 내벽에 DLC 코팅층을 갖는 회수 가능한 플라스틱 용기들의 저가-대량 생산이 달성될 수 있게 된다.
플라스틱, 용기, DLC, 코팅, 플라즈마, ICP, 유도 결합 플라즈마, PI3D, 플라즈마 침지 이온 주입 및 증착

公开(公告)号：KR1020110067236A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：KR1020090123744

申请日：2009-12-14

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 류홍제 ,  임근희 ,  세르게이니키브로프

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/12 ,  C23C16/26

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for the DLC coating a plastic container are provided to prevent a low molecular organic compound from being absorbed to a plastic container. CONSTITUTION: An apparatus for the DLC coating a plastic container comprises a vacuum dielectric closing unit(110), a vacuum pumping unit(120), spiral RF antennas(130), an RF power supply source(140), a slot type bias electrode(150), a pulse power device(160), a conductive electrode(170), and a gas supply device(180). The vacuum dielectric closing unit has an inner wall and a dimension corresponding to the outline of a plastic container(1). The vacuum pumping unit makes the inside the vacuum dielectric closing unit into a vacuum pressure state. The spiral RF antennas are arranged around the vacuum dielectric closing unit. The RF power supply unit is connected to the RF antennas through a matching network(141). The slot type bias electrode is installed along the circumference of RF currents induced by the RF antennas. The pulse power device applies repetitive voltage pulses to the bias electrode.

Abstract translation: 目的：提供DLC涂覆塑料容器的装置和方法，以防止低分子有机化合物被吸收到塑料容器。 构造：用于DLC涂覆塑料容器的设备包括真空介质闭合单元（110），真空泵单元（120），螺旋RF天线（130），RF电源（140），槽型偏压电极 （150），脉冲功率器件（160），导电电极（170）和气体供给装置（180）。 真空介电闭合单元具有内壁和对应于塑料容器（1）的轮廓的尺寸。 真空抽吸单元使真空介质闭合单元的内部成为真空压力状态。 螺旋RF天线布置在真空介质闭合单元周围。 RF电源单元通过匹配网络（141）连接到RF天线。 槽型偏置电极沿着由RF天线引起的RF电流的周围安装。 脉冲功率器件向偏置电极施加重复的电压脉冲。