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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210030811A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190112453A
申请日：2019-09-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/8234
CPC classification number: H01L21/02274 , H01L21/02167 , H01L21/02315 , H01L21/0254 , H01L21/02554 , H01L21/324 , H01L21/823462
Abstract: 본 발명은 SiC 기판 상에 질화 처리된 산화막을 형성하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 공기 플라즈마로부터 NO
x 가스를 포함하는 가스상을 발생시키는 단계; 상기 NO
x 가스상을 SiC 기판으로 유도하는 단계; 및 상기 NO
x 가스상과 SiC 기판을 반응하여 상기 기판 표면에 질화 처리된 산화막을 형성하는 단계를 포함하는 SiC 기판 처리 방법을 제공한다.-
公开(公告)号：WO2013172620A1
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：PCT/KR2013/004243
申请日：2013-05-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H05B6/64
CPC classification number: H05B6/705 , H05B6/701 , H05B6/707 , Y02B40/146
Abstract: 본 발명의 마이크로웨이브 가열 장치는, 도파관 내의 피가열물로 마이크로웨이브를 진행시키되, 고체 상태 물체로서 상기 도파관 내의 일정 공간을 점유하도록 구비된 파장 조절기에 의해 줄어든 마이크로웨이브의 진행 공간으로 마이크로웨이브를 진행시켜, 상기 줄어든 공간 상에 놓인 상기 피가열물을 가열하고, 상기 줄어든 공간으로 진행하는 상기 마이크로웨이브의 파장이 차단 근접(near-cutoff) 조건에 따라 상기 줄어든 공간으로 진입하기 전의 파장보다 일정 배수 이상으로 길어지는 효과를 이용한다.
Abstract translation: 本发明的微波加热装置使得微波可以通过波导传播到待加热物体上，使得微波传播到由波长控制器减少的微波空间中，波长控制器被布置为固态物体，以占据一个 波导中的预定空间。 因此，本发明的微波加热装置对放置在减压空间中的被加热物进行加热。 本发明的微波加热装置利用延长传播到减小空间的微波的波长的效果，使其比进入减小空间之前的波长长，根据近截止条件预定倍数。
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公开(公告)号：WO2009151197A1
公开(公告)日：2009-12-17
申请号：PCT/KR2009/000413
申请日：2009-01-28
IPC: A61B6/14
CPC classification number: H01J35/065 , A61B6/14 , H01J35/32 , H01J2235/062
Abstract: 본 발명에 의한 나노-구조 물질을 이용하는 엑스선관 및 이를 이용한 시스템이 개시된다. 본 발명에 따른 엑스선관 시스템은 나노-구조 물질을 이용하여 엑스선을 방출하는 엑스선방출 모듈을 포함하고 상기 엑스선방출 모듈이 몸체로부터 분리되는 구조를 포함한다. 이를 통해, 본 발명은 전자빔의 방출 효율을 향상시고, 샘플을 용이하게 교체할 수 있을 뿐만 아니라 다른 정상 조직에 대한 방사선 피폭의 피해를 줄이며, 전자의 집속도를 향상시킬 수 있다.
Abstract translation: 本发明公开了使用纳米结构材料的X射线管和使用其的系统。 根据本发明的x射线管系统具有：使用纳米结构材料发射x射线的x射线发射模块，以及其中x射线发射模块与X射线发射模块的X射线发射模块分离的结构， 射线管系统。 因此，本发明能够提高电子束的发射效率，并能够方便地更换样品。 此外，本发明能够减少由辐射暴露于其他正常组织而引起的损伤，并改善电子束的聚焦。
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公开(公告)号：WO2010058906A2
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：PCT/KR2009/005745
申请日：2009-10-08
IPC: H01J43/02
Abstract: 본 발명은 일정한 DC(Direct Current: 직류) 전압이 인가된 두 금속면 사이에 AC(Alternating Current: 교류) 전압을 부가적으로 인가함으로써 두 금속면 중 한쪽 금속면에서 이차전자에 의한 전자증폭현상으로 안정적으로 펄스 전자빔을 발생시킬 수 있는 공진기 구조와, 이차전자 증폭을 통한 펄스 전자빔 발생을 위해 전자기파가 결합된 이차원 광결정 공동 공진기에 DC(Direct Current: 직류) 전압, 펄스 신호 등을 외부 전원장치를 통해 추가적으로 인가함으로써, 공진기를 구성하고 있는 두 금속판 사이에서 수 GHz 주파수 이상의 편향된 전자기파(AC 신호)를 형성할 수 있는 광결정 공진기에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种谐振器结构，其中在施加恒定直流（DC）电压的两个金属表面之间额外施加交流（AC）电压，以允许两个金属表面之一产生脉冲电子束 通过由二次电子引起的电子放大的稳定方式。 本发明还涉及一种光子晶体谐振器，其中通过外部电源将直流（DC）电压，脉冲信号等额外地施加到电磁波耦合以产生的二维光子晶体谐振器 通过二次电子放大的脉冲电子束，从而在构成谐振器的两个金属板之间形成数GHz频率或更高频率的偏转电磁波（AC信号）。
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公开(公告)号：KR1020170054853A
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：KR1020150157518
申请日：2015-11-10
Applicant: 한국전기연구원
Inventor： 정순신
IPC: H01P5/12
Abstract: 본발명은, 다중포트마이크로파도파관에있어서, 도파관본체와; 마이크로파의반파장(λ/2)을초과하는장 변(long side)을갖는단면적으로상기도파관본체에형성되며, 서로연결되어외부로부터입사되는마이크로파의전파경로를제공하는복수의포트부와; 전파된마이크로파가분기되거나또는경로가변경되도록선택되는상기포트부의장 변(long side)을마이크로파의반파장(λ/2) 이하의길이가되도록차단하는차단부재를포함하는것을기술적요지로한다. 이에의해마이크로파의반파장(λ/2)을초과하는장 변을갖는복수의포트부를포함하며, 차단부재를통해포트부의장 변을마이크로파의반파장이하의길이가되도록차단하여마이크로파가분기되거나경로를변경할수 있다. 또한하나의도파관을통해다양한방향으로마이크로파를전파할수 있기때문에별도의도파관을구비하는것보다비용이감소되고사용편의성이증가되는효과를얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种多端口微波波导，其包括：波导体; 形成于波导管主体具有超过微波的半波长（λ/ 2）的片材侧（长侧）的横截面面积，和用于提供微波的传播路径的多个端口单元被连接到彼此，其是从外部入射; 和在于它包括一个进行选择，使得所传播的微波分支或路径改变端口副边（长边）到块到块，使得技术基础的微波元件的长度的半波（λ/ 2）或更小。 从而一个包括穿过所述关闭部件上的多个端口，并且端口的副侧断，使得不多长度比具有片侧超过的微波的半波长（λ/ 2）的微波的微波分支或路径的半波长 你可以改变它。 另外，由于微波可在单个波导在各种方向上传播可以得到设置有一个单独的管，和可用性的增加更加降低的成本haneungeot的效果。
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Patent Agency Ranking
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7.发明授权
公开(公告)号：KR101367687B1
公开(公告)日：2014-02-28
申请号：KR1020120033258
申请日：2012-03-30
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 전도성고분자와 탄소나노튜브(CNT) 복합체의 3차원 미세와이어를 제조하는 방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 펜(fountain pen) 형태의 노즐을 이용한 전기장 유도 정렬 국부성장방법을 기반으로 하여 전도성고분자와 탄소나노튜브가 물리적으로 혼합된 미세와이어(특히, 마이크로와이어 또는 나노와이어)를 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 전도성고분자-탄소나노튜브 복합체 3차원 미세와이어 제조하는 방법에 있어서 펜(fountain pen) 형태의 노즐을 이용하는 전기장 유도 정렬 국부성장방법을 이용하고, 전도성고분자와 탄소나노튜브의 혼합 용액을 사용하며, 펜에 채워진 전도성고분자-탄소나노튜브 혼합 용액 내에 팁-전극(Tip-electrode)을 삽입하고 삽입된 팁-전극과 기판 사이에 전기장을 인가하여 전기장의 제어를 통해 탄소나노튜브의 정렬을 조절함으로써3차원 전도성고분자-탄소나노튜브 복합체의 전기적 특성 제어하는 것을 특징으로 하며, 단일 공정으로 미세와이어의 제조와 정렬이 동시에 가능하게 하는 미세와이어 제조 방법을 제공한다.-
公开(公告)号：KR1020130127051A
公开(公告)日：2013-11-22
申请号：KR1020120050641
申请日：2012-05-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H05B6/64
CPC classification number: H05B6/707 , H05B6/64 , H05B2206/04
Abstract: The present invention relates to a microwave heating device for uniformly heating an object in a waveguide under a near-cutoff condition. The microwave heating device of the present invention controls microwaves to proceed to the object in the waveguide while controlling the microwaves to proceed to the traveling space of the microwave diminished by a wave controller, which is a solid material comprised to occupy the particular space inside the waveguide, in order to heat the object at the diminished space, wherein the wavelength of the microwaves proceeding to the diminished space becomes multiple times longer than the wavelength before entering the diminished space according to a near-cutoff condition. [Reference numerals] (AA) To-be-heated part
Abstract translation: 微波加热装置技术领域本发明涉及一种用于在近截止条件下均匀加热波导管中的物体的微波加热装置。 本发明的微波加热装置控制微波进行到波导中的物体，同时控制微波前进到微波的行进空间，该波形控制器是固体材料，它由包含在其内部的特定空间 波导，以便在减小的空间处加热物体，其中进入减小的空间的微波的波长比根据近截止条件进入减小的空间之前的波长长几倍。 （标号）（AA）待加热部分
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9.发明公开
公开(公告)号：KR1020130110919A
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：KR1020120033258
申请日：2012-03-30
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of 3 dimensional(3D) microwires is provided to accurately arrange the 3D microwires in a single process through electrical field control inside a mixed solution of conductive polymers and carbon nanotubes based on electric field induction arrangement local growth. CONSTITUTION: A manufacturing method of 3 dimensional(3D) microwires comprises the following steps: manufacturing ink in which conductive polymers and carbon nanotubes are mixed; injecting the ink into a pen type nozzle having openings with fixed diameters; inserting tip-electrode in order to be contacted with the ink injected into the pen; contacting the pen type nozzle with target location of a substrate and applying voltage between the tip - electrode and the substrate; and forming microwires while forming meniscus and pulling the pen type nozzle in upper, left or right direction at a constant speed. The opening size of the pen type nozzle has a size of 10nm-500μm. [Reference numerals] (AA) Tip - electrode; (BB) Carbon nanotube- conductive polymer ink; (CC) Carbon nanotube- conductive polymer composite wire; (DD) Conductive polymer; (EE) Carbon nanotube; (FF) Substrate; (GG) Moisture evaporating
Abstract translation: 目的：提供一种三维（3D）微丝的制造方法，用于通过基于电场诱导装置局部生长的导电聚合物和碳纳米管的混合溶液中的电场控制，在单个工艺中精确地布置3D微丝。 构成：三维（3D）微丝的制造方法包括以下步骤：制造其中混合导电聚合物和碳纳米管的油墨; 将墨水注入具有固定直径的开口的笔式喷嘴中; 插入尖端电极以便与注入笔中的墨接触; 将笔式喷嘴与基板的目标位置接触并在尖端 - 电极和基板之间施加电压; 并在形成弯液面的同时形成微丝，并以恒定的速度在上，左或右方向上拉笔式喷嘴。 笔式喷嘴的开口尺寸为10nm-500μm的尺寸。 （附图标记）（AA）尖端 - 电极; （BB）碳纳米管 - 导电聚合物油墨; （CC）碳纳米管 - 导电聚合物复合线; （DD）导电聚合物; （EE）碳纳米管; （FF）基材; （GG）蒸发水分
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