公开(公告)号：KR101417991B1

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：KR1020120111912

申请日：2012-10-09

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정대영 ,  김종욱 ,  캐숙주타마스

IPC: B01D69/12 ,  B01D69/02 ,  B01D67/00 ,  B01D71/02

Abstract: 본 발명은, 리소그라피를 이용하여 요철 패터닝 된 금속을 이용한 금속지지층과 금속산화물 막으로 형성된 복합분리막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 표면을 리소그라피(lithography)를 이용하여 요(凹)부와 철(凸)부 모양의 패턴으로 패터닝 시킨 금속소재의 표면을 양극산화하고 식각하여 금속소재의 요(凹)부 부분에 관통된 직관통공을 형성시키는 리소그라피를 이용하여 요철 패터닝 된 금속을 이용한 금속지지층과 금속산화물 막으로 형성된 복합분리막 제조방법을 기술적 요지로 한다. 그리고 본 발명은 리소그라피(lithography)가 이용되어 표면이 요(凹)부와 철(凸)부 모양의 패턴으로 패터닝 된 금속소재와; 상기 금속소재의 표면을 양극산화시켜 상기 금속소재의 표면에 형성시킨 금속산화물막과; 상기 금속소재를 양극산화하여 금속소재의 요(凹)부 부분에 관통되게 형성시킨 직관통공을 포함하여 구성되는 리소그라피를 이용하여 요철 패터닝 된 금속을 이용한 금속지지층과 금속산화물 막으로 형성된 복합분리막을 또한 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 양극산화 나노다공질 산화물 세라믹 막에 우수한 기계적 성질을 부여함으로써, 취급이 용이할 뿐만 아니라, 고온이나 저온의 펄스 가스에 의한 역세 시 열 및 기계적 충격에 대한 저항성과 열팽창에 대한 저항성을 극도로 향상시켜, 대면적의 실제적인 장치에 적용할 수 있고, 다른 장치와의 연결성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

公开(公告)号：KR1020140045758A

公开(公告)日：2014-04-17

申请号：KR1020120111912

申请日：2012-10-09

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정대영 ,  김종욱 ,  캐숙주타마스

IPC: B01D69/12 ,  B01D69/02 ,  B01D67/00 ,  B01D71/02

CPC classification number: B01D69/12 ,  B01D67/0062 ,  B01D69/02 ,  B01D71/022 ,  B01D71/024

Abstract: The present invention relates to a composite membrane consisting of a metallic support layer and a metal oxide film using metal patterned to have a concave-convex shape by means of lithography. In a method for producing the composite membrane consisting of a metallic support layer and a metal oxide film using metal patterned to have a concave-convex shape by means of lithography, the surface of a metallic material patterned to have a concave-convex shape by means of lithography is anodized and etched so that penetrating holes are formed which penetrate through the concave part of the metallic material. The composite membrane consisting of a metallic support layer and a metal oxide film using metal patterned to have a concave-convex shape by means of lithography of the present invention comprises: a metallic material of which the surface is patterned to have a concave-convex shape by means of lithography; a metal oxide film formed on the surface of the metallic material by anodizing the surface of the metallic material; and penetrating holes formed to penetrate the concave part of the metallic material by anodizing the metallic material. Accordingly, excellent mechanical characteristics imparted to an anodized nanoporous oxide ceramic film facilitate handling and significantly increase resistance against heat and mechanical shocks and resistance against heat expansion during back wash by high temperature or low temperature pulse gas so that the composite membrane can be applied to an actual large-scale device and connectivity with other devices is improved. [Reference numerals] (A1,A2,A3,A4,A5,A6,A7,A8,A9,A10,A11,A12,A13,A14,A15) convex; (B1,B2,B3,B4,B5,B6,B7,B8,B9,B10,B11,B12) concave

Abstract translation: 本发明涉及一种由金属支撑层和金属氧化物膜组成的复合膜，所述金属支撑层和金属氧化物膜使用通过平版印刷图案化为具有凹凸形状的金属。 在使用金属图案化的金属通过光刻制造由金属支撑层和金属氧化物膜构成的复合膜的方法中，金属材料的表面被图案化以具有凹凸形状 进行阳极氧化和蚀刻，从而形成穿透金属材料的凹部的穿透孔。 使用通过本发明的平版印刷图案化为具有凹凸形状的金属的由金属支撑层和金属氧化物膜构成的复合膜包括：表面被图案化以具有凹凸形状的金属材料 通过光刻; 金属氧化物膜，通过阳极氧化金属材料的表面而形成在金属材料的表面上; 以及通过阳极氧化金属材料而形成为穿透金属材料的凹部的穿透孔。 因此，赋予阳极氧化纳米多孔氧化物陶瓷膜的优异的机械特性有助于处理，并且显着提高耐高温或低温脉冲气体在反冲洗过程中对热和机械冲击的阻力和抗热膨胀性能，使复合膜可应用于 实际的大型设备和与其他设备的连接性得到提高。 （A1，A2，A3，A4，A5，A6，A7，A8，A9，A10，A11，A12，A13，A14，A15） （B1，B2，B3，B4，B5，B6，B7，B8，B9，B10，B11，B12）凹