公开(公告)号：KR1020050102264A

公开(公告)日：2005-10-26

申请号：KR1020040027447

申请日：2004-04-21

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 이경희 ,  보즈네센스키니코레이비 ,  키릴로브스키브라미디르케이

IPC: G01N21/45

CPC classification number: G01M11/005 ,  G01M11/0271 ,  G01B9/02007 ,  G01N21/95607

Abstract: 본 발명은 렌즈 및 거울 등 광학 부품의 표면 지형을 측정하기 위한 점회절 간섭계 장치에 관한 것이다. 본 발명은 압전 소자가 장착된 시준기를 구비한 점회절 간섭계 장치를 제공한다. 상기 시준기에 장착된 압전 소자는 검출기에서 검출된 간섭 무늬 패턴의 선명도에 근거하여 실시간으로 구동된다. 이에 따라, 높은 선명도의 간섭 무늬 패턴을 얻을 수 있으며 측정 정밀도가 개선된다. 또한, 간섭상 중심 측정기에 의한 압전 소자의 구동은 실시간으로 이루어지기 때문에 미세한 진동 등 원하지 않은 오차 발생 요인에 대해서 효율적으로 대처할 수 있으며, 신뢰성 있는 점회절 간섭계 장치를 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR100611601B1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：KR1020040027447

申请日：2004-04-21

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 이경희 ,  보즈네센스키니코레이비 ,  키릴로브스키브라미디르케이

IPC: G01N21/45

CPC classification number: G01M11/005 ,  G01M11/0271

Abstract: 본 발명은 렌즈 및 거울 등 광학 부품의 표면 지형을 측정하기 위한 점회절 간섭계 장치에 관한 것이다. 본 발명은 압전 소자가 장착된 시준기를 구비한 점회절 간섭계 장치를 제공한다. 상기 시준기에 장착된 압전 소자는 검출기에서 검출된 간섭 무늬 패턴의 선명도에 근거하여 실시간으로 구동된다. 이에 따라, 높은 선명도의 간섭 무늬 패턴을 얻을 수 있으며 측정 정밀도가 개선된다. 또한, 간섭상 중심 측정기에 의한 압전 소자의 구동은 실시간으로 이루어지기 때문에 미세한 진동 등 원하지 않은 오차 발생 요인에 대해서 효율적으로 대처할 수 있으며, 신뢰성 있는 점회절 간섭계 장치를 제공할 수 있다.
점회절 간섭계 장치, 핀홀, 시준기, 기준파, 측정파, 간섭 무늬