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公开(公告)号：KR100559767B1
公开(公告)日：2006-03-10
申请号：KR1020030035840
申请日：2003-06-04
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L41/083
Abstract: 본 발명에 따른 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법은, 다수의 박막 세라믹 테이프를 적층 성형하여 단위 세라믹 성형체를 제작하는 단계; 단위 세라믹 성형체를 소정 형상의 지그 속에 상호 소정 간격으로다수개 배열 설치하는 단계; 배열 설치된 다수의 단위 세라믹 성형체들 사이에 세라믹 슬러리 접착체를 주입하여 접착 및 건조시키는 단계; 세라믹 슬러리 접착제에 의해 접착된 세라믹 적층 구조체를 가열 및 압착하는 단계; 및 가열 및 압착 과정을 거친 세라믹 적층 구조체를 소정 시간 동안 건조시킨 후, 동시 소성 공정을 수행하여 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조를 완료하는 단계를 포함한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 다수의 단위 세라믹 성형체들을 그 조성이 동일한 세라믹 슬러리를 사용하여 접합시켜 일체화하므로, 내부 전극의 뒤틀림이 없고, 각 층간의 두께 편차가 거의 없는 수백층의 적층 구조를 갖는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조가 가능하며, 내부 적층수를 수백층으로 증가시킴으로써 큰 변위를 발생시킬 수 있는 세라믹 액츄에이터의 제작이 가능하고, 그에 따라 그 응용성을 확대시킬 수 있으며, 간단한 지그를 이용하여 제조하므로 적층 공정의 난이도를 낮추고, 작업시간을 단축시킬 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050001597A
公开(公告)日：2005-01-07
申请号：KR1020030041829
申请日：2003-06-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L41/02
Abstract: PURPOSE: An internal electrode structure of a stack-type ceramic actuator is provided to reduce the area of an inactive portion, to omit a glassy layer forming process necessary to insulate an external electrode, and to improve mechanical intensity of the ceramic actuator by modifying properly the internal electrode structure. CONSTITUTION: An internal electrode structure of a stack-type ceramic actuator is formed by stacking a plurality of square-type unit electrode structures(310,320). Each unit electrode structure includes a non-active portion and a stress buffering electrode portion. The non-active portion(310b,320b) is formed at the center of one out of four sides. The stress buffering electrode portion(310c,320c) is formed within the non-active portion to suppress electrical and mechanical damage. The surface area of the non-active portion is in a range of 10% or less of that of the unit electrode structure.
Abstract translation: 目的：提供堆叠型陶瓷致动器的内部电极结构，以减少非活性部分的面积，省略对外部电极绝缘所需的玻璃层形成工艺，并通过适当修改来提高陶瓷致动器的机械强度 内部电极结构。 构成：通过堆叠多个方形单元电极结构（310,320）形成堆叠式陶瓷致动器的内部电极结构。 每个单位电极结构包括非活性部分和应力缓冲电极部分。 非活动部分（310b，320b）形成在四边中的一个的中心。 应力缓冲电极部（310c，320c）形成在非活性部内，以抑制电气和机械损伤。 非活性部分的表面积在单位电极结构的表面积的10％以下的范围内。
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公开(公告)号：KR100559768B1
公开(公告)日：2006-03-10
申请号：KR1020030041829
申请日：2003-06-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L41/02
Abstract: 본 발명의 제1 실시예에 따른 적층형 세라믹 액츄에이터의 내부 전극 구조체는, 세라믹 테이프 표면에 형성되는 사각형 형태의 단위 전극 구조체를 다수의 층으로 적층하여 형성된 적층형 세라믹 액츄에이터의 내부 전극 구조체에 있어서,
상기 사각형 형태의 단위 전극 구조체의 네 변중 어느 일측 변의 대략 중심부에는 비활성부가 마련되고, 그 비활성부 내에는 적층형 세라믹 액츄에이터의 구동시 전극이 존재하는 부분과 존재하지 않는 부분의 경계에서 크랙이 발생하여 전파되는 것을 방지하기 위하여 전기적, 기계적 파괴를 억제하기 위한 응력 완충전극부가 형성되어 있는 점에 그 특징이 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 기존의 세라믹 액츄에이터 내부 전극 구조를 변형함으로써, 비활성부의 면적을 줄일 수 있어 변위 특성의 저하가 없고, 외부 전극의 절연을 위해서 필요한 유리질층을 형성하는 공정을 줄일 수 있어 생산성도 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 변형된 내부 전극 구조체에 의해 형성되는 H빔 구조는 세라믹 액츄에이터의 기계적 강도를 증대시킬 수 있다.
세라믹, 액츄에이터, 전극-
公开(公告)号：KR1020040105020A
公开(公告)日：2004-12-14
申请号：KR1020030035840
申请日：2003-06-04
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L41/083
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a multi-layered ceramic actuator is provided to reduce the contortion of inner electrodes and the deviation of the layer thickness by using a ceramic slurry adhesive agent having the same composition as the ceramic molding body. CONSTITUTION: A plurality ceramic molding bodies(402) are arranged in a jig unit(401). A multi-layered ceramic structure is formed by injecting a ceramic slurry adhesive agent in space between the adjacent ceramic molding bodies and adhering the ceramic molding bodies. Herein. the ceramic slurry adhesive agent has the same composition as the ceramic molding bodies, thereby laminating the ceramic molding bodies in a single body. The laminated ceramic structure is heated, compressed and dried. And then, co-firing process is performed to complete the manufacturing of a multi-layered ceramic actuator.
Abstract translation: 目的：提供一种多层陶瓷致动器的制造方法，通过使用具有与陶瓷成形体相同组成的陶瓷浆料粘合剂来减少内部电极的扭曲和层厚度的偏差。 构成：多个陶瓷成型体（402）布置在夹具单元（401）中。 通过在相邻的陶瓷成型体之间的空间中注入陶瓷浆料粘合剂并粘附陶瓷成形体来形成多层陶瓷结构体。 在这里。 陶瓷浆料粘合剂具有与陶瓷成型体相同的组成，从而将陶瓷成型体层叠在一体。 层压陶瓷结构被加热，压缩和干燥。 然后，进行共烧工艺以完成多层陶瓷致动器的制造。
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