公开(公告)号：KR102163117B1

公开(公告)日：2020-10-07

申请号：KR1020160023595

申请日：2016-02-26

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 문연국 ,  박호영

IPC: H01S3/00 ,  G01S7/481 ,  G01S17/89 ,  G01S7/48

公开(公告)号：KR102259759B1

公开(公告)日：2021-06-02

申请号：KR1020160058959

申请日：2016-05-13

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 문연국 ,  박호영 ,  채승훈

IPC: G01S7/481 ,  H01L31/08