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公开(公告)号:KR102215839B1
公开(公告)日:2021-02-16
申请号:KR1020160007928
申请日:2016-01-22
Applicant: 한국전자기술연구원
IPC: H01L31/18 , H01L21/02 , H01L21/78 , H01L31/0216
Abstract: 본발명은스크린프린팅공정을이용해태양전지웨이퍼를재자원화할수 있는방법에관한것으로, 질산용액혹은질산용액이포함된혼합용액을사용하여태양전지일면에형성된은 전극을에칭하여제거하는단계와, 에칭페이스트를이용한스크린프린팅공정을통해상기은 전극이제거된태양전지일면에형성되어있는반사방지막과에미터층을제거하는단계와, 수산화칼륨용액을사용하여상기태양전지의또 다른일면에형성되어있는알루미늄후면전극을제거하여실리콘웨이퍼를재생하는단계;를포함함을특징으로한다.