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公开(公告)号:KR1020160146505A
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:KR1020160028517
申请日:2016-03-09
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor: 박세린 , 최춘기
IPC: C01B31/04 , B01J23/70 , B01J23/40 , H01L21/027 , H01L29/16
Abstract: 그래핀소자는기판상에탄소포함재료로패턴을형성하고, 상기패턴이형성된상기기판상에그래핀을성장시킴으로써제조된다.