公开(公告)号：WO2019050233A1

公开(公告)日：2019-03-14

申请号：PCT/KR2018/010216

申请日：2018-09-03

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김현탁 ,  조진철 ,  슬라테티아나

IPC: H01L31/08 ,  G01J1/02 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/048

Abstract: 산소 리치 바나듐산화물 전자파 센서 및 그 시스템이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 산소 리치 바나듐산화물 전자파 센서는 n형의 도펀트로 도핑된 실리콘을 포함하는 제1 물질 층; 상기 제1 물질 층 상에 배치되고, 분자식 V x O y 로 표시되는 바나듐 산화물을 포함하는 제2 물질 층; 상기 제2 물질 층 상의 제1 전극; 및 상기 제1 물질 층 또는 상기 제2 물질 층 상의 제2 전극을 포함하되, 상기 제1 물질 층의 도펀트 농도는 1.0 x 10 15 cm -3 보다 크고 1.0 x 10 19 cm -3 보다 작고, 상기 분자식에서 x에 대한 y의 비는 2 보다 크고 2.5보다 작을 수 있다.