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公开(公告)号:KR101942094B1
公开(公告)日:2019-01-24
申请号:KR1020180096337
申请日:2018-08-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/08 , G01J1/02 , H01L31/0224 , H01L31/032 , H01L31/048
公开(公告)号:KR101942094B1
公开(公告)日:2019-01-24
申请号:KR1020180096337
申请日:2018-08-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/08 , G01J1/02 , H01L31/0224 , H01L31/032 , H01L31/048