Abstract:
본원은 대면적 그래핀 필름의 롤투롤 도핑 방법 및 상기 방법에 의한 도핑된 그래핀 필름에 관한 것으로서, 상기 도핑 방법은 그래핀 필름을 롤투롤 공정을 이용하여 도펀트를 포함하는 도핑 용액 또는 도펀트 증기 내로 통과하도록 함으로써 상기 그래핀 필름을 도핑하는 것을 포함하는, 그래핀 필름의 롤투롤 도핑 방법을 제공한다.
Abstract:
본원은 기체 및 수분 차단성을 가지는 그래핀 보호막의 형성 방법 및 이러한 방법에 의하여 제조된 그래핀 보호막 및 그의 용도에 관한 것이다. 단층 또는 다층의 그래핀 보호막은 배리어 코팅 재료 또는 봉지 재료로서 사용 가능하며, 광범위한 산업 분야의 다양한 디바이스의 기체 및 수분 차단성을 향상시켜 상기 디바이스의 전기적 특성을 장시간 유지할 수 있다.
Abstract:
본원은 그래핀의 저온 형성 방법, 및 이를 이용한 그래핀 직접 전사 방법 및 그래핀 시트에 관한 것으로서, 상기 그래핀의 저온 형성 방법은 기재 상에 형성된 그래핀 성장용 금속 촉매층에 탄소 소스-함유 가스를 공급하고 유도결합플라즈마 화학기상증착(ICP-CVD)에 의하여 500℃ 이하의 저온에서 그래핀을 형성하는 것을 포함할 수 있다.
Abstract:
본원은 그래핀 투명 전극, 이를 포함하는 플렉시블 실리콘 박막 반도체 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 화학 기상 증착법을 이용하여 제조되는 대면적 그래핀 필름을 도전막으로서 포함하는 그래핀 투명 전극을 이용하여 플렉시블하고 투명한 박막 반도체 소자를 용이하게 제조할 수 있다.
Abstract:
A method for manufacturing ultra-thin film silicon according to an embodiment of the present invention comprises the steps of preparing a silicon layer on top of a silicon oxide film; forming a thermal oxide film in the upper region of the silicon layer by performing thermal oxidation on the surface of the silicon layer and forming a first silicon layer thinner than the silicon layer in the lower region of the silicon layer; exposing the surface of the first silicon layer by removing the thermal oxide film; forming an ozone oxide film in the first silicon layer adjacent to the surface of the first silicon layer by performing ozone surface oxidation on the surface of the first silicon layer and forming a second silicon layer thinner than the silicon layer between the ozone oxide film and the silicon oxide film; exposing the surface of the second silicon layer by removing the ozone oxide film; and separating the second silicon layer from the silicon oxide film by etching the silicon oxide film.