公开(公告)号：KR101352372B1

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：KR1020120037687

申请日：2012-04-12

Applicant: 한국지질자원연구원

Inventor： 장희동 ,  박균영 ,  강태원 ,  박회경

IPC: C01B33/08 ,  B01D45/12 ,  B01D53/68

CPC classification number: C01B33/08 ,  C01B33/10721

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 과정에서 발생되는 폐실리콘 슬러지로부터 실리콘카바이드를 분리 및 회수하여 실리콘염화물을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실리콘 슬러지로부터 실리콘염화물의 제조방법을 통해 실리콘 슬러지에 포함되어 있는 유분, 철분, 실리콘을 거하고 실리콘카바이드를 선택적으로 분리 및 실리콘염화물을 제조할 수 있으며, 실리카, 실리콘 등의 제조에 원료물질로 재생이 가능한 고순도의 실리콘염화물을 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020130115432A

公开(公告)日：2013-10-22

申请号：KR1020120037687

申请日：2012-04-12

Applicant: 한국지질자원연구원

Inventor： 장희동 ,  박균영 ,  강태원 ,  박회경

IPC: C01B33/08 ,  B01D45/12 ,  B01D53/68

CPC classification number: C01B33/08 ,  C01B33/10721

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing silicon chloride from silicon sludge is provided to manufacture silicon chloride by removing oil, iron and silicon from silicon sludge; and selectively separating silicon carbide. CONSTITUTION: A method for manufacturing silicon carbide from silicon sludge comprises the steps of: removing oil by distilling silicon sludge generated in the process of manufacturing a semiconductor article; producing a silicon sludge solution by dispersing the silicon sludge in distilled water; treating the silicon sludge solution with ultrasonic waves; separating phases by centrifugating the silicon sludge solution; recovering silicon carbide particles from the silicon sludge solution with phases separated; and reacting the silicon carbide particles with chlorine gas. [Reference numerals] (AA) Example 1; (BB) Example 5; (CC) Example 6; (DD) Example 7; (EE) Comparative example 1; (FF) Comparative example 2

Abstract translation: 目的：提供从硅污泥制造氯化硅的方法，通过从硅污泥中除去油，铁和硅来制造氯化硅; 并选择性地分离碳化硅。 构成：从硅污泥制造碳化硅的方法包括以下步骤：通过蒸馏在半导体制品的制造过程中产生的硅污泥来除去油; 通过将硅污泥分散在蒸馏水中生产硅污泥溶液; 用超声波处理硅污泥溶液; 通过离心硅污泥溶液分离相; 从硅污泥溶液中回收碳化硅颗粒，分相; 并使碳化硅颗粒与氯气反应。 （标号）（AA）实施例1; （BB）实施例5 （CC）实施例6; （DD）实施例7; （EE）比较例1; （FF）比较例2