Patent search ap:("한국표준과학연구원") AND inv:"구엔더마" Page 1

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发明申请
복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 자유곡면의 3차원 형상측정시스템 및 측정방법 审中-公开

公开(公告)号：WO2021020603A1

公开(公告)日：2021-02-04

申请号：PCT/KR2019/009392

申请日：2019-07-29

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김영식 , 구엔더마 , 이혁교

IPC: G01B11/25 , G01B9/02

Abstract: 본 발명은 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정시스템 및 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 형상측정시스템에 있어서, 서로 주파수가 다른 패턴을 합성한 복합패턴을 측정대상물에 투영하는 복합패턴발생부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 변형된 복합패턴의 영상을 획득하는 디텍터; 및 상기 복합패턴으로부터 각 주파수별 접힌(wrapped) 위상을 획득하고, 각 접힌 위상으로부터 펼친(unwrapped) 위상을 획득하는 위상획득부; 및 획득된 상기 위상으로부터 상기 측정대상물의 3D 형상을 측정, 분석하는 분석수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 형상측정시스템에 관한 것이다.

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