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公开(公告)号：WO2019146861A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/KR2018/009337
申请日：2018-08-14
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 위상천이 편향측정법을 이용한 대상물 형상측정에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템 및 방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법에 있어서, 패턴발생부가 패턴을 생성하여 측정대상물에 투영하는 단계; 디텍터가 측정대상물로부터 반사되는 변형된 패턴의 영상을 획득하는 단계; 보상수단이 상기 패턴발생부와 상기 디텍터의 비선형응답특성을 고려한 룩업테이블을 기반으로 비선형 응답을 선형화하는 단계; 및 상기 보상수단이 비선형 응답특성으로 발생한 위상천이량을 보상하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법을 이용한 대상물 형상측정에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법에 관한 것이다.
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