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公开(公告)号：WO2018169119A1
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：PCT/KR2017/003590
申请日：2017-03-31
Applicant: 한국표준과학연구원 , 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: G01N21/552
Abstract: 본 발명의 나노 플라즈모닉 센서는, 기판, 기판 상에 일 방향으로 연장되도록 배치되는 적어도 하나의 유전체 구조물, 유전체 구조물의 상면 및 일 측면을 덮고 기판의 상면으로 연장되도록 배치되는 금속 구조물, 및 금속 구조물에서의 국소 표면 플라즈몬 공명 현상을 측정하는 측정부를 포함한다. 또한, 본 발명의 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법은, 기판 상에 유전층을 형성하는 단계, 나노 패턴을 포함하는 몰드를 이용하여 유전층을 패터닝하여 유전체 구조물을 형성하는 단계, 및 기판에 대하여 소정 각도로 금속 물질을 공급함으로써, 유전체 구조물의 상면과 일 측면, 및 기판의 노출된 상면의 일부에 금속 물질을 증착하여 금속 구조물을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2022108414A1
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：PCT/KR2021/017240
申请日：2021-11-23
Applicant: 한국표준과학연구원 , 한밭대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 바이오 이미징 또는 약물전달에 효과적으로 활용될 수 있는 나노입자에 관한 것으로, 본 발명에 따른 나노입자는 플라즈모닉 금속 나노디스크; 및 상기 플라즈모닉 금속 나노디스크 상에 적층된 무기 나노디스크;를 포함하며, 상기 플라즈모닉 금속 나노디스크 단독의 공진 파장보다 장파장의 공진 파장을 갖는다.
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公开(公告)号：WO2015072628A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/KR2014/002051
申请日：2014-03-12
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/554
Abstract: 본 발명의 나노 플라즈모닉 센서는, 분석 대상물이 수용되는 리세스된 수용부를 가지는 금속 나노구조물 및 금속 나노구조물에서의 플라즈몬 공명 현상을 측정하는 측정부를 포함한다. 또한, 본 발명의 나노 플라즈모닉 센서를 이용한 측정 방법은, 분석 대상물이 수용되는 리세스된 수용부를 포함하는 금속 나노구조물을 마련하는 단계, 수용부 내에 분석 대상물을 위치시키는 단계, 및 금속 나노구조물에서의 플라즈몬 공명 현상을 측정하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明的纳米等离子体传感器包括金属纳米结构，其具有容纳被分析对象的凹入的壳体部分，以及用于测量金属纳米结构中的等离子体共振的测量部分。 此外，使用本发明的纳米等离子体传感器的测量方法包括以下步骤：制备金属纳米结构，其包括容纳被分析物体的凹入壳体部分; 将被分析对象定位在壳体部分中; 并测量金属纳米结构中的等离子体共振。
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公开(公告)号：WO2015016453A1
公开(公告)日：2015-02-05
申请号：PCT/KR2014/002233
申请日：2014-03-17
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , B81C1/00031 , B81C2201/0153
Abstract: 본 발명의 실시 형태에 따른 나노 임프린트를 이용한 나노 구조물 형성 방법 은, 기판 상에 순차적으로 제1 및 제2 레지스트층을 형성하는 단계; 몸체부 및 몸체부로부터 연장되며 단면의 크기가 변화되는 나노 패턴을 포함하는 몰드를 준비하는 단계; 나노 패턴이 제2 레지스트층에 삽입되도록 제2 레지스트층 상에 몰드를 가압하여 나노 패턴이 전사된 패턴 영역을 형성하는 단계; 몰드를 제거한 후, 패턴 영역에서 기판이 노출되도록 제1 레지스트층을 선택적으로 식각하는 단계; 및 제2 레지스트층을 마스크층으로 이용하여 기판 상에 나노 구조물을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的实施方案，通过使用纳米压印形成纳米结构的方法包括以下步骤：在衬底上依次形成第一和第二抗蚀剂层; 制备包括主体部分和纳米图案的模具，其从主体部分延伸并且横截面尺寸改变; 通过将模具压在第二抗蚀剂层上形成其中转移纳米图案的图案区域，以使纳米图案插入到第二抗蚀剂层中; 去除模具并选择性地蚀刻第一抗蚀剂层以允许基板在图案区域中暴露; 以及通过使用第二抗蚀剂层作为掩模层在衬底上形成纳米结构。
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公开(公告)号：KR101904844B1
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：KR1020170083621
申请日：2017-06-30
Applicant: 연세대학교 산학협력단 , 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/658 , B82B1/001 , B82B3/0014 , H01L21/02606 , H01L29/0669
Abstract: 본발명은균일한신호를나타내는표면증강라만기판및 이의제조방법에대한것으로, 본발명에따른표면증강라만기판은금속나노보울내부에금속나노로드가패킹된구조를가지며, 금속나노보울내부의금속나노로드사이의간격및 금속나노로드와금속나노보울사이의간격이좁아서입사광을효과적으로흡수하여신호증폭능이우수하며균일한신호를나타내는장점이있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150014352A
公开(公告)日：2015-02-06
申请号：KR1020140026932
申请日：2014-03-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B82B3/0095 , B29C59/02
Abstract: 본 발명의 실시 형태에 따른 나노 임프린트를 이용한 나노 구조물 형성 방법 은, 기판 상에 순차적으로 제1 및 제2 레지스트층을 형성하는 단계; 몸체부 및 몸체부로부터 연장되며 단면의 크기가 변화되는 나노 패턴을 포함하는 몰드를 준비하는 단계; 나노 패턴이 제2 레지스트층에 삽입되도록 제2 레지스트층 상에 몰드를 가압하여 나노 패턴이 전사된 패턴 영역을 형성하는 단계; 몰드를 제거한 후, 패턴 영역에서 기판이 노출되도록 제1 레지스트층을 선택적으로 식각하는 단계; 및 제2 레지스트층을 마스크층으로 이용하여 기판 상에 나노 구조물을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的在于提供一种使用纳米压印形成纳米结构的方法，由此可以通过一个模具形成各种尺寸的纳米结构。 根据本发明，该方法包括以下步骤：依次在基板上形成第一抗蚀剂层和第二抗蚀剂层; 制备包括主体部分和纳米图案的模具，其从主体部分延伸并且具有可变的横截面积; 通过在第二抗蚀剂层上按压模具形成图案区域，以将纳米图案插入到第二抗蚀剂层中; 选择性地蚀刻第一抗蚀剂层以便在去除模具之后露出图案区域中的基底; 以及使用第二抗蚀剂层作为掩模层在衬底上形成纳米结构。
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公开(公告)号：KR101686011B1
公开(公告)日：2016-12-13
申请号：KR1020130139750
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/554
Abstract: 본발명의나노플라즈모닉센서는, 분석대상물이수용되는리세스된수용부를가지는금속나노구조물및 금속나노구조물에서의플라즈몬공명현상을측정하는측정부를포함한다. 또한, 본발명의나노플라즈모닉센서를이용한측정방법은, 분석대상물이수용되는리세스된수용부를포함하는금속나노구조물을마련하는단계, 수용부내에분석대상물을위치시키는단계, 및금속나노구조물에서의플라즈몬공명현상을측정하는단계를포함한다.
Abstract translation: 本发明的纳米等离子体传感器包括金属纳米结构，其具有容纳被分析对象的凹入的壳体部分和用于测量金属纳米结构中的等离子体共振的测量部分。 此外，使用本发明的纳米等离子体传感器的测量方法包括以下步骤：制备金属纳米结构，其包括容纳被分析物体的凹入壳体部分; 将被分析对象定位在壳体部分中; 并测量金属纳米结构中的等离子体共振。
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公开(公告)号：KR101992155B1
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：KR1020170148585
申请日：2017-11-09
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: A61K49/18 , G01N21/552
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公开(公告)号：KR1020180107381A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：KR1020170033961
申请日：2017-03-17
Applicant: 한국표준과학연구원 , 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: G01N21/552
CPC classification number: G01N21/552 , G01N21/554
Abstract: 본발명의나노플라즈모닉센서는, 기판, 기판상에일 방향으로연장되도록배치되는적어도하나의유전체구조물, 유전체구조물의상면및 일측면을덮고기판의상면으로연장되도록배치되는금속구조물, 및금속구조물에서의국소표면플라즈몬공명현상을측정하는측정부를포함한다. 또한, 본발명의나노플라즈모닉센서의제조방법은, 기판상에유전층을형성하는단계, 나노패턴을포함하는몰드를이용하여유전층을패터닝하여유전체구조물을형성하는단계, 및기판에대하여소정각도로금속물질을공급함으로써, 유전체구조물의상면과일 측면, 및기판의노출된상면의일부에금속물질을증착하여금속구조물을형성하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101904206B1
公开(公告)日：2018-10-08
申请号：KR1020170033961
申请日：2017-03-17
Applicant: 한국표준과학연구원 , 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: G01N21/552
CPC classification number: G01N21/552
Abstract: 본발명의나노플라즈모닉센서는, 기판, 기판상에일 방향으로연장되도록배치되는적어도하나의유전체구조물, 유전체구조물의상면및 일측면을덮고기판의상면으로연장되도록배치되는금속구조물, 및금속구조물에서의국소표면플라즈몬공명현상을측정하는측정부를포함한다. 또한, 본발명의나노플라즈모닉센서의제조방법은, 기판상에유전층을형성하는단계, 나노패턴을포함하는몰드를이용하여유전층을패터닝하여유전체구조물을형성하는단계, 및기판에대하여소정각도로금속물질을공급함으로써, 유전체구조물의상면과일 측면, 및기판의노출된상면의일부에금속물질을증착하여금속구조물을형성하는단계를포함한다.
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