公开(公告)号：KR100917913B1

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：KR1020070089962

申请日：2007-09-05

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정세채 ,  최대식

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/00 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B11/0666 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/653 ,  G01N2021/656

Abstract: 본 발명은 높은 공간 정밀도하에서 유기 박막의 화학종 및 두께를 비파괴적인 방법으로 동시에 분석할 수 있는 CARS 현미경를 이용한 광학분석장치에 관한 것으로서, 스톡스광과 펌프광을 박막에 조사하여 산란되는 CARS(Coherent Anti-stokes Raman Scattering) 신호의 파장 및 세기를 측정하여 상기 박막의 두께 측정 및 화학종 분석을 하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 CARS 현미경을 이용한 광학분석장치는 3차 비선형 광학현상 중 하나인 CARS 현미경을 이용하여 분자의 진동 모드에 해당하는 진동 분광법에 기초하므로 각각의 성분을 분석할 수 있으며, 비파괴적이면서 실시간적으로 측정이 가능하고, 공간적 분해능을 통상의 회절한계를 극복할 수 있는 효과가 있다.
유기 박막, 유기 박막 두께, CARS, 동시 측정, 비침습, 화학종, 분석장치, 광학분석장치

公开(公告)号：KR1020090024965A

公开(公告)日：2009-03-10

申请号：KR1020070089962

申请日：2007-09-05

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정세채 ,  최대식

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/00 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B11/0666 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/653 ,  G01N2021/656

Abstract: A spectral analyzer for measuring the thickness and identification of chemicals of organic thin films using a CARS(Coherent Anti-stokes Raman Scattering) microscopy is provided to improve quality of product by measuring the wavelength and intensity of a CARS signal in order to measure the thickness and identification of chemicals. A spectral analyzer for measuring the thickness and identification of chemicals of organic thin films using a CARS(Coherent Anti-stokes Raman Scattering) microscopy comprises: a light source(10) generating stokes light or probe light; a light divider(20) dividing the light generated from the light source; a photonic crystal fiber(30) making stabilized beam distribution of broadband; a low-pass filter(40); a narrow band transmission filter(50) in which pump light is passed; a notch filter(60) which spatially combines the pump light and the stokes light; and a scan device(70) generating a CARS signal.

Abstract translation: 提供了使用CARS（相干反斯托克斯拉曼散射）显微镜测量有机薄膜的厚度和化学物质鉴定的光谱分析仪，以通过测量CARS信号的波长和强度来测量厚度来提高产品质量 并鉴定化学品。 用于使用CARS（相干抗 - 斯托克斯拉曼散射）显微镜测量有机薄膜的化学物质的厚度和鉴定的光谱分析仪包括：产生斯托克斯光或探针光的光源（10）; 分光器（20），分割从光源产生的光; 制造宽带光束分布稳定的光子晶体光纤（30） 低通滤波器（40）; 泵浦光通过的窄带透射滤光器（50）; 空心地组合泵浦光和火箭灯的陷波滤波器（60）; 和产生CARS信号的扫描装置（70）。