公开(公告)号：KR102230740B1

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020190099687A

申请日：2019-08-14

Applicant: 한국표준과학연구원 ,  한국생산기술연구원 ,  한국화학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  심섭 ,  허훈 ,  유은성 ,  허규용 ,  정고운

IPC: H01L21/67 ,  G01J3/44 ,  G01N11/00 ,  G01N21/65 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67242 ,  G01J3/44 ,  G01N11/00 ,  G01N21/65 ,  H01L21/02205 ,  H01L21/0228 ,  H01L22/12 ,  H01L22/30

Abstract: 본 발명은, 재료가 수용되는 샘플용기와, 상기 샘플용기의 일측에 배치되며, 상기 샘플용기로부터 증발된 재료가 이송되는 버퍼챔버와, 상기 샘플용기와 버퍼챔버 사이에 배치되며, 상기 샘플용기를 개폐시키는 고정플랜지와, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료를 수집하는 샘플링챔버와, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료가 공급되어 증착막을 형성하는 증착챔버와, 상기 증착챔버와 연결되며, 상기 증발된 재료가 증착될 기판을 상기 증착챔버 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)시키는 로드락챔버를 포함하며, 상기 샘플용기와 연결되며, 상기 샘플용기 내부에 수용된 재료의 점도를 측정하는 점도 측정 모듈, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 상기 버퍼챔버 내부에 수용된 증발된 재료의 증기압을 측정하는 증기압 측정 모듈, 상기 로드락챔버 내부의 상기 기판 상에 증착된 증착막의 물성을 평가하는 박막 측정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 유기증착재료를 이용한 박막 증착 공정에 있어서 증착 전 재료인 전구체 뿐만 아니라 증착 후의 증착막에 대한 분석을 종합적으로 수행할 수 있는 인시츄 물성 평가 장치를 제공하게 된다.

公开(公告)号：KR102204536B1

公开(公告)日：2021-01-20

申请号：KR1020180174058

申请日：2018-12-31

Applicant: 한국표준과학연구원 ,  한국화학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  안종기 ,  허규용 ,  정고운

IPC: G01N9/00 ,  G01N11/16 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은캡슐형점도측정기, 액상전구체디개서및 이들을포함하는액상전구체매니지먼트시스템에관한것으로, 본발명에따르면, 액상전구체를디개싱시키기위하여마련되는액상전구체디개서; 상기액상전구체디개서내에배치되어상기액상전구체의점도를측정하고, 측정된점도측정정보를상기액상전구체디개서로전달하는캡슐형점도측정기; 및상기액상전구체디개서와전기적으로연결되어상기액상전구체디개서또는상기캡슐형점도측정기의작동을제어하며, 상기캡슐형점도측정기가측정하여얻은상기점도측정정보를상기액상전구체디개서로부터전달받는중앙제어기기; 를포함하고, 상기캡슐형점도측정기는내측에소정의공간이마련된하우징바디; 주변의액상전구체의점도를측정하기위하여마련되는점도측정모듈; 상기점도측정모듈측으로부터상기액상전구체의점도에관하여측정된점도측정정보를전달받아서외부로송신하는통신모듈; 및상기점도측정모듈또는상기통신모듈이작동할수 있도록전원을공급하여주는전원모듈; 을포함하므로디개서내에수용된액상전구체에대한점도를더욱정확하게측정하고관리를할 수있는기술이개시된다.

公开(公告)号：KR102230740B1

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020190099687

申请日：2019-08-14

Applicant: 한국표준과학연구원 ,  한국생산기술연구원 ,  한국화학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  심섭 ,  허훈 ,  유은성 ,  허규용 ,  정고운

IPC: H01L21/67 ,  G01N11/00 ,  G01N21/65 ,  G01J3/44 ,  H01L21/66 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은, 재료가수용되는샘플용기와, 상기샘플용기의일측에배치되며, 상기샘플용기로부터증발된재료가이송되는버퍼챔버와, 상기샘플용기와버퍼챔버사이에배치되며, 상기샘플용기를개폐시키는고정플랜지와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료를수집하는샘플링챔버와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료가공급되어증착막을형성하는증착챔버와, 상기증착챔버와연결되며, 상기증발된재료가증착될기판을상기증착챔버내부로로딩(loading) 또는언로딩(un-loading)시키는로드락챔버를포함하며, 상기샘플용기와연결되며, 상기샘플용기내부에수용된재료의점도를측정하는점도측정모듈, 상기버퍼챔버와연결되며, 상기버퍼챔버내부에수용된증발된재료의증기압을측정하는증기압측정모듈, 상기로드락챔버내부의상기기판상에증착된증착막의물성을평가하는박막측정모듈을포함하는것을특징으로하는인시츄물성평가장치를기술적요지로한다. 이에의해본 발명은유기증착재료를이용한박막증착공정에있어서증착전 재료인전구체뿐만아니라증착후의증착막에대한분석을종합적으로수행할수 있는인시츄물성평가장치를제공하게된다.

公开(公告)号：KR1020210021192A

公开(公告)日：2021-02-25

申请号：KR1020190099687

申请日：2019-08-14

Applicant: 한국표준과학연구원 ,  한국생산기술연구원 ,  한국화학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  심섭 ,  허훈 ,  유은성 ,  허규용 ,  정고운

IPC: H01L21/67 ,  G01N11/00 ,  G01N21/65 ,  G01J3/44 ,  H01L21/66 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은, 재료가수용되는샘플용기와, 상기샘플용기의일측에배치되며, 상기샘플용기로부터증발된재료가이송되는버퍼챔버와, 상기샘플용기와버퍼챔버사이에배치되며, 상기샘플용기를개폐시키는고정플랜지와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료를수집하는샘플링챔버와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료가공급되어증착막을형성하는증착챔버와, 상기증착챔버와연결되며, 상기증발된재료가증착될기판을상기증착챔버내부로로딩(loading) 또는언로딩(un-loading)시키는로드락챔버를포함하며, 상기샘플용기와연결되며, 상기샘플용기내부에수용된재료의점도를측정하는점도측정모듈, 상기버퍼챔버와연결되며, 상기버퍼챔버내부에수용된증발된재료의증기압을측정하는증기압측정모듈, 상기로드락챔버내부의상기기판상에증착된증착막의물성을평가하는박막측정모듈을포함하는것을특징으로하는인시츄물성평가장치를기술적요지로한다. 이에의해본 발명은유기증착재료를이용한박막증착공정에있어서증착전 재료인전구체뿐만아니라증착후의증착막에대한분석을종합적으로수행할수 있는인시츄물성평가장치를제공하게된다.

公开(公告)号：KR102147363B1

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：KR1020180174059

申请日：2018-12-31

Applicant: 한국표준과학연구원 ,  한국화학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  심섭 ,  허규용 ,  정고운

IPC: G05B19/4065 ,  G05B19/418