公开(公告)号：KR1020180020764A

公开(公告)日：2018-02-28

申请号：KR1020160105628

申请日：2016-08-19

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 정선호 ,  최영민 ,  류병환 ,  이수연 ,  홍규리 ,  조예진

IPC: H01L21/02 ,  H01L51/00 ,  H01L29/66

CPC classification number: H01L21/02205 ,  H01L21/02109 ,  H01L21/02172 ,  H01L29/66742 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/0053 ,  H01L2924/0635

Abstract: 본발명은반도체전구체용액, 이의제조방법, 이를이용하여제조된반도체층및 박막트랜지스터를제공하는것으로, 본발명의반도체전구체용액은카르복실산기를가지는화합물로개질된탄소나노튜브및 금속산화물전구체를포함한다.

Abstract translation: 本发明是一种半导体前体溶液，其制备方法，通过提供一种半导体层，并使用此制造的薄膜晶体管，改性用具有羧酸基团的化合物的碳纳米管的半导体前体溶液和金属氧化物前体的本发明 它包括。

公开(公告)号：KR101865573B1

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：KR1020160105628

申请日：2016-08-19

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 정선호 ,  최영민 ,  류병환 ,  이수연 ,  홍규리 ,  조예진

IPC: H01L21/02 ,  H01L51/00 ,  H01L29/66

Abstract: 본발명은반도체전구체용액, 이의제조방법, 이를이용하여제조된반도체층및 박막트랜지스터를제공하는것으로, 본발명의반도체전구체용액은카르복실산기를가지는화합물로개질된탄소나노튜브및 금속산화물전구체를포함한다.