公开(公告)号：KR101502338B1

公开(公告)日：2015-03-16

申请号：KR1020140116400

申请日：2014-09-02

Applicant: 한국환경공단

Inventor： 안양기 ,  이용 ,  최지철 ,  장희수 ,  한상우 ,  이창

IPC: G01F25/00 ,  G01F1/76

Abstract: 본 발명은 질량유량조절기에 연결되어 일정한 유량의 공기를 공급한 후 질량유량조절기의 성능오차를 평가하여 교정하는 질량유량조절기 교정장치에 관한 것으로서, 압축기와, 공기의 온도 및 압력을 조절하고 불순물을 제거하는 압축공기안정화장치와, 질량유량조절기에 일정한 유량으로 공급한 후 상기 질량유량조절기의 오차를 검사하는 기체유량교정장치와, 기체유량교정장치에 공급되는 공기의 압력을 일정하게 제어하는 압력제어밸브와, 공기의 온도, 압력 및 유량을 제어하고, 상기 기체유량교정장치에서 검사된 오차에 따라 질량유량조절기를 교정하는 제어부를 포함하는 질량유량조절기 교정장치를 제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于校准质量流量控制器的装置，其连接到质量流量控制器以提供恒定流量的空气，然后评估和校准质量流量控制器的性能误差。 该装置包括：压缩机; 用于调节空气的温度和压力并消除杂质的压缩空气稳定器; 用于向质量流量控制器提供恒定流量并检查质量流量控制器的误差的气体流量校准器; 用于控制供给气体流量校准器的空气的压力的压力控制阀; 以及用于控制空气的温度，压力和流量以及根据由气体流量校准器检查的误差来校准质量流量控制器的控制单元。