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公开(公告)号:KR102228683B1
公开(公告)日:2021-03-15
申请号:KR1020180125579A
申请日:2018-10-19
Applicant: 한남대학교 산학협력단
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1436 , C09K3/1454
Abstract: 본 발명은 저기포 고분산 연마 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기존에 사용되는 연마 슬러리 조성물에 비해 기포 발생이 최소화되고, 열안정성, 분산 안정성, 경시변화 안정성 및 연마 효율이 우수하며, 피연마면의 스크래치를 최소화할 수 있는 연마 슬러리 조성물에 관한 것이다.
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公开(公告)号:KR102228683B1
公开(公告)日:2021-03-15
申请号:KR1020180125579
申请日:2018-10-19
Applicant: 한남대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은저기포고분산연마슬러리조성물에관한것으로서, 보다상세하게는기존에사용되는연마슬러리조성물에비해기포발생이최소화되고, 열안정성, 분산안정성, 경시변화안정성및 연마효율이우수하며, 피연마면의스크래치를최소화할수 있는연마슬러리조성물에관한것이다.
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