저기포 고분산 연마 슬러리 조성물

    公开(公告)号:KR102228683B1

    公开(公告)日:2021-03-15

    申请号:KR1020180125579

    申请日:2018-10-19

    Inventor: 김운중 김병준

    Abstract: 본발명은저기포고분산연마슬러리조성물에관한것으로서, 보다상세하게는기존에사용되는연마슬러리조성물에비해기포발생이최소화되고, 열안정성, 분산안정성, 경시변화안정성및 연마효율이우수하며, 피연마면의스크래치를최소화할수 있는연마슬러리조성물에관한것이다.

Patent Agency Ranking