公开(公告)号：KR102046831B1

公开(公告)日：2019-11-20

申请号：KR1020180056049

申请日：2018-05-16

Applicant: 한남대학교 산학협력단

Inventor： 이광섭 ,  박승규 ,  등학성 ,  정주형 ,  프렘프라브하카란

IPC: G03F7/004 ,  C09K11/02 ,  C09K11/08 ,  C09K11/88 ,  G03F7/027 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR102073580B1

公开(公告)日：2020-02-05

申请号：KR1020180056048

申请日：2018-05-16

Applicant: 한남대학교 산학협력단

Inventor： 이광섭 ,  박승규 ,  등학성 ,  정주형 ,  프렘프라브하카란

IPC: C09K11/02 ,  C09K11/62 ,  C09K11/88 ,  C09K11/70