公开(公告)号：KR101739839B1

公开(公告)日：2017-05-25

申请号：KR1020160012852

申请日：2016-02-02

Applicant: 한동대학교 산학협력단

Inventor： 유태준 ,  홍경희 ,  김태신 ,  황승진 ,  신용욱

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/06 ,  B23K26/70 ,  H01S3/00

CPC classification number: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70 ,  H01S3/00

Abstract: 본발명에따른표면개질용빔균질기는, 레이저빔조사유닛으로부터조사되는레이저빔을복수의빔렛으로분할하며, 상기레이저빔의형상을결정하는복수의렌즈렛을포함하는제1배열렌즈, 상기제1배열렌즈에의해분할된복수의빔렛을투과시키며, 상기제1배열렌즈에대응되는복수의렌즈렛을포함하는제2배열렌즈, 상기제2배열렌즈를투과한복수의빔렛을대상의표면에집광시키는집광렌즈를포함하며, 상기제1배열렌즈와상기제2배열렌즈사이에구비되어, 상기빔렛의초점영역에서플라즈마가발생하는것을방지하는플라즈마발생방지부및 상기집광렌즈와상기대상사이에구비되어, 상기복수의빔렛이상기대상에조사되는과정에서발생되는에너지에의해상기집광렌즈가손상되는것을방지하는손상방지부중 적어도어느하나를포함한다.