公开(公告)号：KR1020150121895A

公开(公告)日：2015-10-30

申请号：KR1020140048072

申请日：2014-04-22

Applicant: 한밭대학교 산학협력단

Inventor： 이재현 ,  남기효 ,  김태환

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/448

CPC classification number: C23C16/4485 ,  C23C16/45563

Abstract: 본발명의수직형페럴린성막노즐장치는가열분해부의내부통기단면(通氣斷面)을축소시켜기체상의다이머가빠른속도로페럴린모노머로열분해되어증착챔버로공급될수 있도록하고, 또한기화된페럴린다이머의이동경로를증대시켜장치를소규모로제작할수 있는특징이있다.

Abstract translation: 本发明的垂直聚对二甲苯膜沉积喷嘴装置具有减小的加热分解单元的内部通风横截面，使气相二聚体快速热解成聚对二甲苯单体并供给到沉积室。 由于气化的聚对二甲苯二聚体的移动路径增加，本发明的垂直聚对二甲苯膜沉积喷嘴装置可以制成小尺寸。

公开(公告)号：KR101579679B1

公开(公告)日：2015-12-22

申请号：KR1020140048072

申请日：2014-04-22

Applicant: 한밭대학교 산학협력단

Inventor： 이재현 ,  남기효 ,  김태환

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/448

Abstract: 본발명의수직형페럴린성막노즐장치는가열분해부의내부통기단면(通氣斷面)을축소시켜기체상의다이머가빠른속도로페럴린모노머로열분해되어증착챔버로공급될수 있도록하고, 또한기화된페럴린다이머의이동경로를증대시켜장치를소규모로제작할수 있는특징이있다.