公开(公告)号：WO2016171514A1

公开(公告)日：2016-10-27

申请号：PCT/KR2016/004238

申请日：2016-04-22

Applicant: 한양대학교에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  김민수 ,  박건호 ,  김동하 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선

IPC: G03F1/62

CPC classification number: G03F1/62

Abstract: 펠리클이 제공된다. 상기 펠리클은, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 멤브레인(membrane), 상기 멤브레인의 제1 면 상의 제1 펠리클 프레임(first pellicle frame), 및 상기 멤브레인의 상기 제2 면 상의 제2 펠리클 프레임(second pellicle frame)을 포함할 수 있다.

Abstract translation: 提供一个防护薄膜。 防护薄膜组件包括：膜，其具有面向第一表面的第一表面和第二表面; 在膜的第一表面上的第一防护膜框架; 和在膜的第二表面上的第二防护薄膜框架。