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发明申请
대상물의 표면 측정장치 및 측정방법 审中-公开

公开(公告)号：WO2019216624A1

公开(公告)日：2019-11-14

申请号：PCT/KR2019/005441

申请日：2019-05-08

Applicant: 한양대학교에리카산학협력단

Inventor： 조남규 , 김민규 , 백상우

IPC: G01B21/30 , G01B21/20 , G06F17/10 , G01B21/32

Abstract: 대상물의 표면 측정 장치가 개시된다. 대상물의 표면 측정 장치는 측정 대상물이 놓이는 지지부; 상기 측정 대상물의 표면을 측정하는 적어도 3개 이상의 프로브; 및 상기 지지부와 상기 적어도 3개 이상의 프로브들 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 상대 구동시키는 구동부를 포함한다.

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