公开(公告)号：KR101767726B1

公开(公告)日：2017-08-23

申请号：KR1020150090446

申请日：2015-06-25

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 이승백 ,  설원제 ,  전현석

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/00 ,  G01L5/00

CPC classification number: G01L1/005 ,  G01L1/148 ,  G01L1/2293 ,  G01L5/228 ,  G01L9/0098 ,  H01L29/1606 ,  H01L29/66015 ,  H01L29/66045 ,  H01L29/778 ,  H01L29/84

Abstract: 디랙물질을구비한압력감지소자및 이의동작방법을제공한다. 압력감지소자는기판상에배치되고디랙콘들이디랙점에서만나는밴드구조를갖는디랙물질을구비한다. 상기디랙물질패턴의양단에소오스전극과드레인전극이각각접속한다. 상기디랙물질패턴상에서캐버티를구비하는스페이서층이상기기판상에배치된다. 상기디랙물질패턴과중첩된게이트전극이상기캐버티상부에배치된다.

Abstract translation: 提供了一种具有斜材料的压力传感元件及其操作方法。 压力传感元件设置在基底上，并且具有斜向材料，该斜向材料具有微妙物在对角点处相交的能带结构。 源电极和漏电极分别连接到材料图案的两端。 设置在具有潮解材料图案上的空腔的间隔层或更多器件板上。 并设置在栅极电极移相器腔体的顶部，与腔体材料图案重叠。

公开(公告)号：KR1020170001059A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：KR1020150090446

申请日：2015-06-25

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 이승백 ,  설원제 ,  전현석

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/00 ,  G01L5/00

CPC classification number: G01L1/005 ,  G01L1/148 ,  G01L1/2293 ,  G01L5/228 ,  G01L9/0098 ,  H01L29/1606 ,  H01L29/66015 ,  H01L29/66045 ,  H01L29/778 ,  H01L29/84

Abstract: 디랙물질을구비한압력감지소자및 이의동작방법을제공한다. 압력감지소자는기판상에배치되고디랙콘들이디랙점에서만나는밴드구조를갖는디랙물질을구비한다. 상기디랙물질패턴의양단에소오스전극과드레인전극이각각접속한다. 상기디랙물질패턴상에서캐버티를구비하는스페이서층이상기기판상에배치된다. 상기디랙물질패턴과중첩된게이트전극이상기캐버티상부에배치된다.

Abstract translation: 提供了具有狄拉克材料的压力感测装置及其操作方法。 压力感测装置包括设置在基板上的狄拉克材料图案，并且具有狄拉克锥在狄拉克点处相遇的带状结构。 源电极和漏电极分别连接到狄拉克材料图案。 在狄拉克材料图案上包括空腔的间隔层设置在基底上。 与狄拉克材料图案重叠的栅电极设置在空腔上。