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公开(公告)号：KR101911592B1
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：KR1020160050103
申请日：2016-04-25
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 광학검사장치가개시된다. 광학검사장치는검사대상물이놓이는스테이지; 파장가변레이저빔을제공하는광원부; 표면으로부터상이한깊이에복수의반사면을갖는다층미러; 상기광원부에서제공된상기파장가변레이저빔의경로를상기검사대상물과상기다층미러측으로분할하고, 상기검사대상물과상기다층미러에서반사되는반사광 신호들을혼합하는빔 스플리터; 상기반사광 신호들의혼합으로형성된간섭신호를검출하는광신호검출부; 및상기간섭신호로부터상기검사대상물의정보를분석하는광신호분석부를포함할수 있다
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公开(公告)号：KR1020170121535A
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：KR1020160050103
申请日：2016-04-25
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 광학검사장치가개시된다. 광학검사장치는검사대상물이놓이는스테이지; 파장가변레이저빔을제공하는광원부; 표면으로부터상이한깊이에복수의반사면을갖는다층미러; 상기광원부에서제공된상기파장가변레이저빔의경로를상기검사대상물과상기다층미러측으로분할하고, 상기검사대상물과상기다층미러에서반사되는반사광 신호들을혼합하는빔 스플리터; 상기반사광 신호들의혼합으로형성된간섭신호를검출하는광신호검출부; 및상기간섭신호로부터상기검사대상물의정보를분석하는광신호분석부를포함할수 있다
Abstract translation: 公开了一种光学检查设备。 光学检查装置包括载置被检查物的载物台， 一个用于提供可调激光束的光源部分; 具有多个反射表面的层镜，所述多个反射表面在距所述表面不同的深度处; 分束器，用于将由所述光源单元提供的所述可调谐激光束的路径划分为待检查对象和所述多层反射镜侧，并混合从所述待检查对象和所述多层反射镜反射的反射光信号; 一种光信号检测器，用于检测通过混合反射光信号而形成的干涉信号; 还有一个光信号分析仪，用于从干扰信号中分析被检物体的信息
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