公开(公告)号：KR1020150052037A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：KR1020157005062

申请日：2013-08-30

Applicant: 히다찌긴조꾸가부시끼가이사

Inventor： 콘도,사다히코 ,  미야치,아키라 ,  하타나카,토시히코

IPC: H01L21/78 ,  H01L23/00 ,  B28D5/04

CPC classification number: B28D5/045 ,  B23D57/0007 ,  B23D61/185 ,  B28D1/08

Abstract: 고경도재료의멀티와이어쏘에의한절단방법은, 양단을갖는본체부분(10a)과, 상기본체부분의양단중 한쪽에만위치하는저품질결정부분(10e)을갖는적어도 1개의잉곳을준비하는공정 (A); 상기적어도 1개의잉곳을고정용베이스에고정하는공정 (B); 쏘와이어가상기적어도 1개의잉곳의저품질결정부분(10e)과는접촉하지않고, 본체부분(10a)에접촉하도록, 상기적어도 1개의잉곳을상기쏘 와이어에대해상대적으로이동시킴으로써상기잉곳을슬라이스하는공정 (C);를포함한다.

Abstract translation: 用多线锯切割高硬度材料的方法包括以下步骤：（A）提供至少一个铸块，其包括具有两端的主体部分10a和仅位于其上的低质量晶体部分10e 身体部分的两端之一; （B）将所述至少一个锭固定到固定基座上; 以及（C）通过相对于锯线移动所述锭来切割所述至少一个锭，使得所述锯线不与所述至少一个锭的低质量晶体部分10e接触，但是与其主体部分10a接触 。