公开(公告)号：DE102012104749B4

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：DE102012104749

申请日：2012-06-01

Applicant: ACADEMIA SINICA

Inventor： HWANG ING-SHOU ,  HWU EN-TE

IPC: G12B1/00 ,  G01Q10/00

Abstract: Mehrachsige Aktorvorrichtung für eine Positionierungsvorrichtung, umfassend: ein bewegliches Element; einen Probentisch, der an dem beweglichen Element angebracht ist; eine Mehrzahl von Antriebselementen, die sich in einem reibschlüssigen Eingriff mit dem beweglichen Element befinden und ausgelegt sind, um das bewegliche Element wahlweise entlang einer ersten Richtung zu bewegen; und eine Mehrzahl von Aktoren, die die Mehrzahl von Antriebselementen bewegen, wenn an die Mehrzahl von Aktoren Ansteuersignale angelegt werden, wobei unterschiedliche Ansteuersignale an die Mehrzahl von Aktoren angelegt werden, um unterschiedliche Bewegungen der Antriebselemente zu bewirken, so dass das bewegliche Element unterschiedliche Verschiebungen entlang der Mehrzahl von Antriebselementen ausführt und aufgrund der unterschiedlichen Verschiebung verkippt wird.

公开(公告)号：DE102012104749A1

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：DE102012104749

申请日：2012-06-01

Applicant: ACADEMIA SINICA

Inventor： HWU EN-TE ,  HWANG ING-SHOU

IPC: G12B1/00 ,  G01Q10/00

Abstract: Eine mehrachsige Aktorvorrichtung für eine Nanopositionier-Vorrichtung umfasst ein bewegliches Element, das an einem Probentisch angebracht ist, eine Mehrzahl von Antriebselementen, und eine Mehrzahl von Aktoren. Die Antriebselemente stehen in einem reibschlüssigen Eingriff mit dem beweglichen Element und sind zum selektiven Bewegen des beweglichen Elements längs einer ersten Richtung ausgelegt. Die Mehrzahl von Aktoren bewegt die Mehrzahl von Antriebselementen, wenn Ansteuersignale an die Mehrzahl von Aktoren angelegt werden. Unterschiedliche Ansteuersignale können an die Mehrzahl von Aktoren angelegt werden, um eine unterschiedliche Bewegung der Antriebselemente zu bewirken, so dass das bewegliche Element unterschiedliche Verstellungen in verschiedenen Richtungen entlang der Mehrzahl von Antriebselementen ausführt. Das bewegliche Element wird aufgrund der unterschiedlichen Verstellungen gekippt.