公开(公告)号：JP2517357B2

公开(公告)日：1996-07-24

申请号：JP9803888

申请日：1988-04-20

Applicant: ADVANCED MICRO DEVICES INC

Inventor： UIRIAMU EICHI AANORUDO ZA SAADO ,  MOHAMADO FUAANAAMU ,  JATSUKU SURIWA

IPC: H01L21/027 ,  G03C5/00 ,  G03F1/00 ,  G03F1/14 ,  G03F7/09 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JPS63316053A

公开(公告)日：1988-12-23

申请号：JP9803888

申请日：1988-04-20

Applicant: ADVANCED MICRO DEVICES INC

Inventor： UIRIAMU EICHI AANORUDO ZA SAAD ,  MOHAMADO FUAANAAMU ,  JIYATSUKU SURIWA

IPC: H01L21/027 ,  G03C5/00 ,  G03F1/00 ,  G03F1/14 ,  G03F7/09 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26 ,  H01L21/30