公开(公告)号：DE102019110302A1

公开(公告)日：2019-11-07

申请号：DE102019110302

申请日：2019-04-18

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： RAY TYLER ,  JAKSE NICHOLAS ,  KURFISS NEAL TAIT ,  HANNA CHRISTOPHER M ,  CHAVEZ MIGUEL A

IPC: G01B11/14

Abstract: Systeme und Verfahren zum optischen Messen einer Verlagerung eines Elements weisen Folgendes auf: einen Emitter zum Emittieren eines optischen Signals, einen ersten Detektor zum Detektieren von Reflexionen des optischen Signals vom Element, einen zweiten Detektor zum Detektieren von Reflexionen des optischen Signals von einer erhöhten Abdeckungsstruktur, einen Prozessor zum Empfangen der detektierten Reflexionen vom ersten und zweiten Detektor und Entfernen von Verzerrungen in den detektierten Reflexionen vom ersten Detektor unter Verwendung der detektierten Reflexionen vom zweiten Detektor.