公开(公告)号：JPS53146563A

公开(公告)日：1978-12-20

申请号：JP4114578

申请日：1978-04-07

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： ADORIAN POORU BUROKAU ,  MODESUTO EI MEIDEITSUKU

IPC: H03M1/38 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8222 ,  H01L27/04 ,  H01L27/082 ,  H03M1/00

公开(公告)号：JPS6340049B2

公开(公告)日：1988-08-09

申请号：JP4114578

申请日：1978-04-07

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： ADORIAN HOORU BUROKAU ,  MODESUTO EI MEIDEITSUKU

IPC: H03M1/38 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8222 ,  H01L27/04 ,  H01L27/082 ,  H03M1/00