公开(公告)号：CN105970187A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610141027.1

申请日：2016-03-11

Applicant: ASMIP控股有限公司

Inventor： C·L·怀特 ,  M·维戈瑟 ,  E·J·希罗 ,  T·R·邓恩

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明涉及多区反应器、包括该反应器的系统和使用该反应器的方法。示例性多区反应器包括可移动的感受器组件和可移动的板。可移动的感受器组件和可移动的板能在反应器的反应区之间竖直地移动，以使基底暴露于多个过程或多种反应物。

公开(公告)号：CN105964192A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610131743.1

申请日：2016-03-09

Applicant: ASMIP控股有限公司

Inventor： C·L·怀特 ,  E·J·希罗 ,  M·维戈瑟

IPC: B01J10/00 ,  C23C16/455

CPC classification number: H01J37/32449 ,  B08B7/00 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45557 ,  C23C16/4583 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32816 ,  B01J10/00 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明涉及气相反应器和气相反应器系统。示例性反应器包括具有渐变高度的反应室。反应器的高度渐变被认为用于减小沿着通过反应器的气体流的压降。示例性反应器也可包括在间隙内的间隔件，以控制在区域和反应室之间的气体流。