公开(公告)号：CN115428116A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202180027392.9

申请日：2021-04-06

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 刘学东 ,  周为民 ,  陈晓雪 ,  季晓宇 ,  李衡 ,  沙赫杜尔·霍克 ,  李宗肴 ,  刘书豪 ,  任伟明

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/145

Abstract: 公开了使用带电粒子束装置对样品进行成像的系统和方法。带电粒子束装置可以包括复合物镜，该复合物镜包括磁透镜和静电透镜，该磁透镜包括空腔，以及位于紧邻磁透镜的极片的上游并且在磁透镜的空腔内部的电子检测器。在一些实施例中，偏转器可以位于电子检测器和与样品相邻的极片的开口之间以实现大视场。通过改变静电物镜中的(多个)控制电极的电位，可以在不改变着陆能量的情况下操纵检测器之间的电子分布。电子源可以用若干离散电位来操作以覆盖不同的着陆能量，而电子源和提取器之间的电位差是固定的。