公开(公告)号：CN108350976A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680064631.7

申请日：2016-10-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·M·M·罗韦尔斯

IPC: F16F15/03 ,  G03F7/20 ,  H02K41/03

CPC classification number: H02K41/031 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70775 ,  G03F7/709 ,  H02K1/02 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18

Abstract: 一种用于移位系统的移位装置的磁体阵列，所述磁体阵列包括第一类型的磁体和第二类型的磁体的二维图案，由此第一类型的磁体和第二类型的磁体具有平行但相反的磁化方向，所述第一类型的磁体和第二类型的磁体在第一方向和第二方向两者上被以规则的间隔交替布置，其中，第一方向和第二方向不相互垂直，在第三方向上同一类型的两个相邻磁体之间的距离不等于在第四方向上同一类型的两个相邻磁体之间的距离；和所述第三方向和第四方向相互垂直。