公开(公告)号：CN102023494B

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201010292339.5

申请日：2010-09-25

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·A·J·霍尔 ,  A·F·J·德格鲁特 ,  T·P·M·卡迪 ,  M·柯塞尔斯 ,  D·G·E·霍贝伦

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H02K33/12 ,  H02K33/18

CPC classification number: G03F7/70758 ,  H02K1/146 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18 ,  H02K2213/12

Abstract: 本发明公开了一种致动器、定位系统和光刻设备。该致动器用于施加力和扭矩到物体上，包括：第一部分，其相对于致动器的第二部分沿至少第一自由度是可移动的，所述物体安装到所述第一部分，其中所述部分中的一个设置第一电线圈，所述第一电线圈布置成与另一部分的可磁化部协同工作，并且致动器的控制器布置用以产生第一电流通过所述第一电线圈以在所述第一部分和第二部分之间产生力，其中所述一个部分设置有第二电线圈，所述第二电线圈布置用以与另一部分的可磁化部协同工作，所述控制器还布置用以产生第二电流通过所述第二线圈以在所述第一部分和第二部分之间施加力和扭矩，使得所述致动器布置成相对于所述第二部分施加力和扭矩到所述物体上。

公开(公告)号：CN102023494A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010292339.5

申请日：2010-09-25

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·A·J·霍尔 ,  A·F·J·德格鲁特 ,  T·P·M·卡迪 ,  M·柯塞尔斯 ,  D·G·E·霍贝伦

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H02K33/12 ,  H02K33/18

CPC classification number: G03F7/70758 ,  H02K1/146 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18 ,  H02K2213/12

Abstract: 本发明公开了一种致动器、定位系统和光刻设备。该致动器用于施加力和扭矩到物体上，包括：第一部分，其相对于致动器的第二部分沿至少第一自由度是可移动的，所述物体安装到所述第一部分，其中所述部分中的一个设置第一电线圈，所述第一电线圈布置成与另一部分的可磁化部协同工作，并且致动器的控制器布置用以产生第一电流通过所述第一电线圈以在所述第一部分和第二部分之间产生力，其中所述一个部分设置有第二电线圈，所述第二电线圈布置用以与另一部分的可磁化部协同工作，所述控制器还布置用以产生第二电流通过所述第二线圈以在所述第一部分和第二部分之间施加力和扭矩，使得所述致动器布置成相对于所述第二部分施加力和扭矩到所述物体上。