公开(公告)号：CN104769500B

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201380043945.5

申请日：2013-08-15

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·H·M·考克斯 ,  M·M·G·希伦 ,  P·M·S·M·海杰曼斯 ,  J·J·韦尔滕 ,  J·H·A·范德里杰特 ,  G·K·H·F·格伦 ,  A·凯克劳德

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F9/7096 ,  G03F7/70758 ,  G03F2009/005 ,  H02K1/06 ,  H02K9/22 ,  H02K41/035 ,  H02K41/0356 ,  H02K2201/18 ,  H02K2213/03 ,  H02K2213/12

Abstract: 描述了种电磁致动器,该致动器包括:线圈组件(350),包括线圈(355);磁体组件,包括第磁体单元和第二磁体单元(360、370),每个磁体单元包括磁轭(365、375)和被安装至磁轭的多个永磁体(366、376),第磁体单元和第二磁体单元形成用于接收线圈组件的磁路,并且在激励线圈时,产生在第方向上的力;以及保持器(600),用于保持磁体单元,其中磁体组件相对于线圈组件的重量比小于在力相对于电功率的比被最大化时磁体组件相对于线圈组件的重量比。

公开(公告)号：CN104769500A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201380043945.5

申请日：2013-08-15

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·H·M·考克斯 ,  M·M·G·希伦 ,  P·M·S·M·海杰曼斯 ,  J·J·韦尔滕 ,  J·H·A·范德里杰特 ,  G·K·H·F·格伦 ,  A·凯克劳德

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F9/7096 ,  G03F7/70758 ,  G03F2009/005 ,  H02K1/06 ,  H02K9/22 ,  H02K41/035 ,  H02K41/0356 ,  H02K2201/18 ,  H02K2213/03 ,  H02K2213/12

Abstract: 描述了一种电磁致动器，该致动器包括：线圈组件(350)，包括线圈(355)；磁体组件，包括第一磁体单元和第二磁体单元(360、370)，每个磁体单元包括磁轭(365、375)和被安装至磁轭的多个永磁体(366、376)，第一磁体单元和第二磁体单元形成用于接收线圈组件的磁路，并且在激励线圈时，产生在第一方向上的力；以及保持器(600)，用于保持磁体单元，其中磁体组件相对于线圈组件的重量比小于在力相对于电功率的比被最大化时磁体组件相对于线圈组件的重量比。