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公开(公告)号：CN115605811A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202180034681.1
申请日：2021-05-12
Applicant: ASML荷兰有限公司(NL)
Inventor： C·巴蒂斯塔基斯 , M·皮萨伦科 , B·A·奥雅曾·里维拉 , A·斯拉克特
IPC: G03F7/20 , G06T7/00 , G01N21/956
Abstract: 本文描述了用于训练机器学习模型来确定衬底上印刷的图案的多个特征的误差贡献源的方法。方法包括：获取具有多个数据集的训练数据，其中每个数据集具有误差贡献值，误差贡献值表示来自多个源中的一个的对特征的误差贡献，并且其中每个数据集与实际分类相关联，该实际分类标识对应数据集的误差贡献源；以及基于训练数据，对机器学习模型进行训练来预测数据集中的参考数据集的分类，使得成本函数被减小，该成本函数确定参考数据集的预测分类与实际分类之间的差。
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