公开(公告)号：TWI294637B

公开(公告)日：2008-03-11

申请号：TW092110006

申请日：2003-04-29

Applicant: ASML荷蘭公司 ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 珍 凡 艾普 JAN VAN ELP ,  彼德 吉森 PETER GIESEN ,  賈克伯 珍 凡 德 維迪 JACOB JAN VAN DER VELDE

IPC: H01L

CPC classification number: G03F7/70708 ,  G03F7/707 ,  G03F7/7095 ,  H01L21/6831

Abstract: 一種具有夾頭的微影投射裝置，其中靜電夾頭之介電元件具有至少1016歐姆厘米(Ωcm)之電阻係數，使得：一旦移除在夾頭的兩個電極之間的電位差，施加在打算被夾緊之物品上的力就會快速地減少低於一預定最小位準。該介電元件也具有小於0.02 x 10-6K-1的熱膨脹係數。也揭露一種用來製造夾頭的方法，該方法包括將一玻璃陶瓷元件和一玻璃元件接合起來的步驟，其中將一電極包夾在其間且有電流流經第二玻璃元件。

Abstract in simplified Chinese: 一种具有夹头的微影投射设备，其中静电夹头之介电组件具有至少1016欧姆厘米(Ωcm)之电阻系数，使得：一旦移除在夹头的两个电极之间的电位差，施加在打算被夹紧之物品上的力就会快速地减少低于一预定最小位准。该介电组件也具有小于0.02 x 10-6K-1的热膨胀系数。也揭露一种用来制造夹头的方法，该方法包括将一玻璃陶瓷组件和一玻璃组件接合起来的步骤，其中将一电极包夹在其间且有电流流经第二玻璃组件。