公开(公告)号：US20150370178A1

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：US14761957

申请日：2013-12-05

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： Petrus Augustinus Franciscus KLOMP ,  Bastiaan Matthias MERTENS ,  Arnoud Willem NOTENBOOM

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: G03F7/70708 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00

Abstract: An electrostatic clamp (12) comprising an electrode (2), a layer of resistive material (6) located on the electrode, and a layer of dielectric (8) located on the resistive material, wherein the electrostatic clamp further comprises burls (10) which project from the layer of dielectric.

Abstract translation: 包括电极（2），位于电极上的电阻材料层（6）和位于电阻材料上的电介质层（8）的静电夹（12），其中静电夹具还包括孔（10） 该工程从电介质层开始。