公开(公告)号：NL1035771A1

公开(公告)日：2009-02-23

申请号：NL1035771

申请日：2008-07-30

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HEIJDEN EDDY CORNELIS ANTONIUS VAN DER ,  QUAEDACKERS JOHANNES ANNA ,  OORSCHOT DOROTHEA MARIA CHRISTINA ,  MEESSEN HIERONYMUS JOHANNUS CHRISTIAAN ,  CHOI YIN FONG

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：NL1036032A1

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：NL1036032

申请日：2008-10-08

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HEIJDEN EDDY CORNELIS ANTONIUS VAN DER ,  QUAEDACKERS JOHANNES ANNA ,  OORSCHOT DOROTHEA MARIA CHRISTINA ,  MEESSEN HIERONYMUS JOHANNUS CHRISTIAAN ,  CHOI YIN FONG

IPC: H01L21/66 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00 ,  H01L23/544