公开(公告)号：NL1036069A1

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：NL1036069

申请日：2008-10-14

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HEIJDEN MARCUS THEODOOR WILHEL ,  KRAMER RONALD HARM GUNTHER ,  BOOGAARD FREDERIK JOHANNES VAN ,  JANSSEN PETER GERARDUS HUBERTUS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：NL1036125A1

公开(公告)日：2009-05-11

申请号：NL1036125

申请日：2008-10-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  TNO

Inventor： LAAT WILHELMUS JOHANNES MARIA ,  GUI CHENG-QUN ,  GIESEN PETER THEODORUS MARIA ,  HEIJDEN MARCUS THEODOOR WILHEL ,  MEINDERS ERWIN RINALDO ,  PETER MSRIA

IPC: G03F9/00 ,  H01L21/68