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公开(公告)号：KR20210009437A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：KR20217001411
申请日：2017-06-01
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： KUMAR NITISH , HUISMAN SIMON REINALD
Abstract: 정렬마크측정시스템을위한초연속방사선소스는: 방사선소스; 조명광학기; 복수의도파관들; 및수집광학기를포함한다. 방사선소스는펄스화된방사선빔을생성하도록작동가능하다. 조명광학기는펄스화된펌프방사선빔을수용하고, 복수의펄스화된서브-빔들을형성하도록배치되며, 각각의펄스화된서브-빔은펄스화된펌프방사선빔의일부분을포함한다. 복수의도파관들각각은복수의펄스화된서브-빔들중 적어도하나를수용하고, 그펄스화된서브-빔의스펙트럼을확장하여초연속서브-빔을생성하도록배치된다. 수집광학기는복수의도파관들각각으로부터초연속서브-빔을수용하고, 이들을조합하여초연속방사선빔을형성하도록배치된다.
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