公开(公告)号：KR20180038468A

公开(公告)日：2018-04-16

申请号：KR20187005456

申请日：2016-08-10

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： RIGGS DANIEL JASON ,  RAFAC ROBERT JAY

IPC: H05G2/00 ,  G01J1/42

CPC classification number: H05G2/008 ,  G01J1/429 ,  H05G2/005

Abstract: 레이저생성플라즈마(LPP) 극자외(EUV) 시스템내에서, 액적은레이저펄스에의해조사되어챔버내에플라즈마를생성한다. 그러면플라즈마가안정상태에서해제되게하고후속액적들이플라즈마에접근할때 그들의진행궤적및 속도가변경되게하는힘이생긴다. 이러한비안정화는생성된 EUV 에너지의양에존재하는발진으로부터검출될수 있다. 플라즈마와액적의이동을안정화하여발진을감소시키기위하여, 후속레이저펄스의에너지를챔버내에생성된 EUV 에너지에기초하여변경하기위해비례-적분(PI) 제어기알고리즘이사용된다. 후속레이저펄스의에너지를변경하면, 플라즈마가안정화되고, 그러면액적진행에대한영향이감소되고생성되는 EUV 에너지의양이안정화되기때문에, 플라즈마챔버가더 오랜동안동작할수 있게되고레이저소스에의해유지되는예비파워의양이감소된다.

公开(公告)号：KR20180040647A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：KR20187007145

申请日：2016-08-05

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： RIGGS DANIEL JASON ,  RAFAC ROBERT JAY

IPC: H05G2/00

CPC classification number: H05G2/008 ,  H05G2/005

Abstract: 레이저생성플라즈마(LPP) 극자외(EUV) 생성시스템내의소스레이저의타이밍을개선시키기위한방법및 시스템이개시된다. 플라즈마챔버내에서의힘 때문에, 액적의속도는조사부위에접근하면서감소될수 있다. 액적이느려지기때문에, 소스레이저는느려진액적에비하여빠르게발화하고, 결과적으로얻어지는액적의앞선부분만이조사되게된다. 이러한액적으로부터생성된 EUV 에너지의결과적으로얻어지는양은액적의느려진속도에비례한다. 이것을보상하기위하여, 소스레이저의발화가생성된 EUV 에너지에기초하여다음액적에대해서지연된다. 소스레이저의발화가다음액적에대해서지연되기때문에, 다음액적은더 완전하게조사된위치에있을가능성이더 높아지고, 결과적으로다음액적으로부터더 많은 EUV 에너지가생기게된다.

公开(公告)号：KR20180038543A

公开(公告)日：2018-04-16

申请号：KR20187006976

申请日：2016-08-10

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： RAFAC ROBERT JAY ,  RIGGS DANIEL JASON

IPC: H05G2/00

CPC classification number: H05G2/008 ,  H05G2/005

Abstract: 방법은, 플라즈마로변환될때 극자외(EUV) 광을방출하는컴포넌트를포함하는타겟재료를제공하는단계; 수정된타겟을형성하도록타겟재료의기하학적분포를수정하기위해타겟재료에에너지를전달하도록제1 방사선빔을타겟재료를향해지향시키는단계; 수정된타겟을향해제2 방사선빔을지향시키는단계로서, 제2 방사선빔은수정된타겟의적어도일부를 EUV 광을방출하는플라즈마로변환하는, 단계; 제1 방사선빔에대하여상대적으로타겟재료와수정된타겟중 하나이상과연관된하나이상의특성을측정하는단계; 및하나이상의측정된특성에기초하여제1 방사선빔으로부터타겟재료에전달되는방사노광량을미리결정된에너지범위내로제어하는단계를포함한다.