公开(公告)号：KR20120016287A

公开(公告)日：2012-02-23

申请号：KR20117030780

申请日：2010-05-21

Applicant: AURORA CONTROL TECHNOLOGIES INC

Inventor： DEANS GORDON ,  HEAVEN E MICHAEL

IPC: H01L31/18 ,  G06Q50/04 ,  G07C3/14 ,  H01L31/042

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/32182 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32194 ,  G05B2219/32195 ,  G05B2219/32196 ,  G05B2219/32198 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/32212 ,  G05B2219/32218 ,  H01L31/18 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/86

Abstract: 광발전 제품을 제조하기 위한 방법 및 장치는 적합성에 대하여 생산 라인에서 각 제품을 평가하는 단계와, 그 단계에서 그 제품에 대한 평가 결과, 그 단계에서 예전 제품에 대한 평가 결과의 통계 분석과의 비교 결과, 또는 과거 단계의 예전 평가 결과를 그 단계에서 과거 제품에 대한 누적 평가 결과의 통계 분석과 비교한 결과에 따라서 등급을 지정하는 단계를 포함한다. 제품은 상기 등급에 따라 그룹으로서 처리하기 위해 그룹으로 연관될 수 있고, 하류 장비는 상기 그룹이 미리 정해진 공차 내에 들도록 상기 그룹의 등급에 따라 조정될 수 있다.

公开(公告)号：EP2567217A4

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：EP11777046

申请日：2011-05-03

Applicant: AURORA CONTROL TECHNOLOGIES INC

Inventor： HEAVEN E MICHAEL ,  DEANS GORDON MATTHEW ,  CADIEN KENNETH ,  BLAINE STEPHEN WARREN

IPC: G01N21/3563 ,  G01N21/95 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/9501 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A system and method of non-contact measurement of the dopant content of semiconductor material by reflecting infrared (IR) radiation off of the material and splitting the radiation into two beams, passing each beam through pass band filters of differing wavelength ranges, comparing the level of energy passed through each filter and calculating the dopant content by referencing a correlation curve made up of known wafer dopant content for that system.

公开(公告)号：EP2433311A4

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：EP10777278

申请日：2010-05-21

Applicant: AURORA CONTROL TECHNOLOGIES INC

Inventor： DEANS GORDON ,  HEAVEN E MICHAEL

IPC: H01L31/18 ,  G07C3/14

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/32182 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32194 ,  G05B2219/32195 ,  G05B2219/32196 ,  G05B2219/32198 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/32212 ,  G05B2219/32218 ,  H01L31/18 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/86