公开(公告)号：KR20180008643A

公开(公告)日：2018-01-24

申请号：KR20177036038

申请日：2016-05-09

Applicant: CANON KK

Inventor： ISHIBASHI TOHRU ,  TAKAHASHI YUICHI ,  ARAKI YOSHIMASA ,  MITA YUTAKA ,  ARAI TSUYOSHI

IPC: B41J2/165 ,  G03F7/00 ,  G03F7/16

CPC classification number: B41J2/165 ,  B41J2/1652

Abstract: 토출구어레이가제공되는토출구면을갖는헤드로서, 토출구어레이는액체를토출하며제1 방향을따라배치되는복수의토출구를포함하는, 헤드; 토출구면에대해흡입동작을행하는흡입구; 및흡입구가토출구면으로부터멀리이격된상태하에서흡입구가제1 방향에교차하는제2 방향으로이동하게하는제어유닛을포함하는액체토출장치가제공된다.

Abstract translation: 1，一种头部，其具有设置有排出口阵列的排出口面，其中排出口阵列包括沿第一方向布置以排出液体的多个排出口; 用于吸取排出口表面的吸入口; 以及控制单元，用于在吸入口与排出口表面分离的状态下使吸入口在与第一方向交叉的第二方向上移动。

公开(公告)号：EP2791964A4

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：EP13746658

申请日：2013-01-09

Applicant: CANON KK

Inventor： ARAI TSUYOSHI

IPC: H01L21/027 ,  B29C43/00 ,  B29C43/58 ,  B29C59/00 ,  B29C59/02 ,  B41L19/00 ,  B81C99/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01B21/08 ,  G03F7/00 ,  G11B5/84 ,  G11B5/855 ,  G11B7/26

CPC classification number: B29C59/002 ,  B29C43/00 ,  B29C43/58 ,  B41L19/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01B21/08 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/84 ,  G11B5/855

Abstract: The present invention provides an imprint, apparatus which performs an imprint process of transferring a pattern onto a substrate, the apparatus comprising a deforming unit configured to deform the pattern surface by applying a force to the mold, an obtaining unit configured to obtain thickness information of the mold, a calculation unit configured to calculate a force to be applied to the mold based on the thickness information of the mold obtained by the obtaining unit, so that the pattern surface has a target, shape in the imprint process, and a control unit configured to control the deforming unit, to apply the force calculated by the calculation unit to the mold in the imprint process.

Abstract translation: 本发明提供了一种印刷装置，其进行将图案转印到基板上的压印处理，该装置包括：变形单元，其被配置为通过向模具施加力使图案表面变形;获得单元，被配置为获得厚度信息 模具，计算单元，被配置为基于由获取单元获得的模具的厚度信息来计算施加到模具的力，使得图案表面具有目标，压印处理中的形状以及控制单元 被配置为控制变形单元，以在压印过程中将由计算单元计算出的力施加到模具。

公开(公告)号：SG11201708843WA

公开(公告)日：2017-11-29

申请号：SG11201708843W

申请日：2016-05-09

Applicant: CANON KK

Inventor： ISHIBASHI TOHRU ,  TAKAHASHI YUICHI ,  ARAKI YOSHIMASA ,  MITA YUATAKA ,  ARAI TSUYOSHI

IPC: B41J2/165