检查用照明装置以及检查用照明方法

    公开(公告)号:CN104040322A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201280060038.7

    申请日:2012-11-27

    Inventor: 增村茂树

    Abstract: 为了提供一种能够根据检查光表现出缺陷和正常部分的亮度差等的差异的检查用照明装置以及检查用照明方法,所述检查用照明装置具有:射出检查光的面光源(1);透镜(2),所述透镜(2)位于从所述面光源(1)射出的检查光的光轴(LX)上,被设置在检查对象(W)和所述面光源(1)之间;第一光阑(31),所述第一光阑(31)被设置在所述面光源(1)以及所述透镜(2)之间,或者被设置在所述透镜(1)以及所述检查对象(W)之间,所述面光源(1)以及所述透镜(2)的相对于所述检查对象(W)的位置被设置为所述面光源(1)成像的成像面(IM)位于所述检查对象(W)的附近,所述第一光阑(1)的相对于所述透镜(2)的位置被设定,从而使以入射至所述成像面(IM)的外周部的检查光规定的照射立体角的中心轴变得相对于所述光轴(LX)平行,或者,自光轴(LX)偏离且以规定量倾斜。

    表面检查用照明、拍摄系统以及数据结构

    公开(公告)号:CN102483380A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080039168.3

    申请日:2010-09-03

    Inventor: 增村茂树

    CPC classification number: G01N21/8806 G01N21/8851 G01N21/9515 G01N2021/9518

    Abstract: 本发明涉及一种表面检查用照明、拍摄系统,为了即使对于每个图像数据检查内容、有效检查区域发生变化,或者即使表面检查用照明、拍摄系统自身变更,也可以在图像处理装置侧进行共通地图像处理,图形处理用数据结构是在表示拍摄装置的拍摄图像的拍摄图像数据上关联,表示所述拍摄图像中的对检查有效的区域即有效拍摄区域的有效拍摄区域数据和确定应对所述有效拍摄区域施行的图像处理的内容的图像处理确定数据。

    表面检查用照明、拍摄系统

    公开(公告)号:CN102483380B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201080039168.3

    申请日:2010-09-03

    Inventor: 增村茂树

    CPC classification number: G01N21/8806 G01N21/8851 G01N21/9515 G01N2021/9518

    Abstract: 本发明涉及一种表面检查用照明、拍摄系统,为了即使对于每个图像数据检查内容、有效检查区域发生变化,或者即使表面检查用照明、拍摄系统自身变更,也可以在图像处理装置侧进行共通地图像处理,图形处理用数据结构是在表示拍摄装置的拍摄图像的拍摄图像数据上关联,表示所述拍摄图像中的对检查有效的区域即有效拍摄区域的有效拍摄区域数据和确定应对所述有效拍摄区域施行的图像处理的内容的图像处理确定数据。

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