公开(公告)号：KR20200138661A

公开(公告)日：2020-12-10

申请号：KR20200060154

申请日：2020-05-20

Applicant: CHROMA ATE INC

Inventor： WANG YU YEN ,  HUANG KUO WEI ,  WENG SZU YUAN

IPC: G01M11/04 ,  G01J1/42 ,  G01M11/02 ,  G01N21/01 ,  G01N21/88

Abstract: 광전자측정장치가여기에개시된다. 광전자측정장치는대물렌즈, 이미징렌즈, 카메라및 광경로조정모듈을포함한다. 제1 광경로에배치된대물렌즈는제1 테스트광을수신하고제1 테스트광을제2 테스트광으로변환한다. 제1 광경로에배치된이미징렌즈는제2 테스트광을수신하고제2 테스트광을제3 테스트광으로변환한다. 제1 광경로에배치된카메라는제3 테스트광의빔 특성을측정한다. 제1 광경로에그리고이미징렌즈와카메라사이에배치된광 경로조정모듈은제1 광경로상에배치된미러를포함하며, 미러는테스트명령에따라이미징렌즈에대해상대적으로이동하며, 제1 광경로에서이미징렌즈및 카메라사이의거리를제1 광학거리또는제2 광학거리로조정한다. 미러는제3 테스트광을수직으로반사한다.