公开(公告)号：EP0918254A3

公开(公告)日：1999-11-10

申请号：EP98402892.8

申请日：1998-11-20

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： Ida, Michel ,  Geffraye, Françoise

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00

CPC classification number: B82Y30/00 ,  G03F7/001 ,  G03F7/201 ,  G03F7/2016 ,  G03F7/70408

Abstract: Procédé de formation de motifs dans une couche de résine photosensible, hologramme pour sa mise en oeuvre et système d'enregistrement de l'hologramme, application aux sources et écrans à micropointes. Selon l'invention, on restitue l'image (140) d'un hologramme (138) d'une monocouche de microbilles éclairée par un faisceau de lumière dont les rayons sont parallèles et qui est perpendiculaire à la monocouche pour obtenir une image holographique tridimensionnelle de cette monocouche et de pinceaux de lumière associés à celle-ci et concentrés sous les images des microbilles, on restitue l'image tridimensionnelle (144) des pinceaux dans l'épaisseur de la couche de résine photosensible (22) pour provoquer l'insolation de zones de cette couche de résine, et on développe la couche de résine ainsi insolée.

公开(公告)号：EP0918254A2

公开(公告)日：1999-05-26

申请号：EP98402892.8

申请日：1998-11-20

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： Ida, Michel ,  Geffraye, Françoise

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00

CPC classification number: B82Y30/00 ,  G03F7/001 ,  G03F7/201 ,  G03F7/2016 ,  G03F7/70408

Abstract: Procédé de formation de motifs dans une couche de résine photosensible, hologramme pour sa mise en oeuvre et système d'enregistrement de l'hologramme, application aux sources et écrans à micropointes.
Selon l'invention, on restitue l'image (140) d'un hologramme (138) d'une monocouche de microbilles éclairée par un faisceau de lumière dont les rayons sont parallèles et qui est perpendiculaire à la monocouche pour obtenir une image holographique tridimensionnelle de cette monocouche et de pinceaux de lumière associés à celle-ci et concentrés sous les images des microbilles, on restitue l'image tridimensionnelle (144) des pinceaux dans l'épaisseur de la couche de résine photosensible (22) pour provoquer l'insolation de zones de cette couche de résine, et on développe la couche de résine ainsi insolée.

Abstract translation: 光致抗蚀剂层（22）是使用微球单层的全息图（138），以获得3-D全息单层图像（140）和光的相关联的铅笔的3-D图像（144）穿透所述抗蚀剂层，以隔离层图案化 区域。 图案在通过（a）再现的微球单层的全息图（138），通过一个垂直光束与平行光线照射的图像，以获得3-D全息图像（140）的感光性树脂层（22）而形成 单层的，哪些是微球的图像下浓缩光的相关联的铅笔; （B）再现光的树脂层内的铅笔，以隔离层的区域的3-D图像（144）; 和（c）显影所得到的树脂层，所述图案被因此在隔离区域的电平形成的。 因此独立权利要求中包括了：（1）由一垂直光束与平行光线照射时，用于再现单层的3-D全息图像（140）和光集中的相关联的铅笔微球单层的全息图（138） 下的微球的图像; （2）对于上述全息图包括利斯-Upatnieks的传输或伽柏全息组件的记录系统; （3）用于制造在其中的孔的微尖发射阴极电子源通过由上述方法图案化光致抗蚀剂层进行蚀刻的工序; 和（4）的平坦屏幕采用由上述方法制造的电子源的。